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摘要 ;7hf'k #NqA5QR 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 pS%Az)3RZ f5G17: Q
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`xtN+y F F`-? 3]\3 在VirtualLab Fusion中查看 o?b"B+# t >8t|t+ a#kZY7s d>(dSKx VirtualLab Fusion的工作流程 F~{4)` xUG|@xIwc •构造光栅结构 X=DJOepH' - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] E=LaPjEIj - 倾斜光栅的高级配置[用例] '8}\! i& •分析光栅衍射效率 '-
Z4GcL - 光栅级次分析器[用例] ^m5{:\
Xk •使用参数优化优化光栅参数 sT/pA^rnnR •使用参数运行进行容差分析 c*3ilMP\4 - 参数运行文档的用法[用例] tmm\V7sJ [%b<%m}L-
>s1HQSe66 |C5i3? VirtualLab Fusion技术 D$j`+` *{C)o0D
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