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摘要 R^M (fC W/r?0E
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 199hQxib: |@L &yg,x
<fsn2[V:B% AzO3 (1: 建模任务 ]7S7CVDk4 $
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R c:cVK W[X!P)=w] 1阶的参数优化 7! b)'W?
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G<u.+V O{ %A&Ui 在VirtualLab Fusion中查看 ;TV'PJ 9HNh*Gc= ghobu}wuF "Eok;io VirtualLab Fusion的工作流程 H&yFSz}6a Ro'4/{}+ •构造光栅结构 M ,_^hm7 - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] Tu=eQS|' - 倾斜光栅的高级配置[用例] !: EW21m •分析光栅衍射效率 iZ.&q
6 - 光栅级次分析器[用例] ttbQergS •使用参数优化优化光栅参数 $O~F>.* •使用参数运行进行容差分析 zN)|g - 参数运行文档的用法[用例] 'x45E.wYw /[nZ#zj!3
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Fjs VirtualLab Fusion技术 C;)Xwm>e >xU72l#5
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