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摘要 HAwdu1$8 2{|Z?3FJ^ 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 8
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LAkBf #N"m[$;QR 在VirtualLab Fusion中查看 G 9|2
KUG X$e*s\4 ,p{naT%R ]~2iducB, VirtualLab Fusion的工作流程 EQN)y27poW 'Lq+ONX5 •构造光栅结构 O uNPD q% - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] ?Z2`8]-E - 倾斜光栅的高级配置[用例] ;4l8Qg
7 •分析光栅衍射效率 9#TD1B/ - 光栅级次分析器[用例] Q3Pu<j}Y •使用参数优化优化光栅参数 vJxEF&X •使用参数运行进行容差分析 3Q'vVNFh< - 参数运行文档的用法[用例] D=Q.Q 3~{I/ft
}4N'as/ZO ![;={d0 VirtualLab Fusion技术 ,Kl:4 Tv L&c
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