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摘要 +#~=QT9 FT'_{e!M 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 Q*|O9vu'D ~_v?M%5i
jT/SZ|S Z(LDAZG 设计任务 iR
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oK1"8k|Z -'&4No 结果-容差分析 c$aTl9e HPVW2Y0_N
p] kpDx[9 J{8_4s!Xt> 结果-容差分析 jR<yV .])ubK_9
]eA< ldcYw@KQ VirtualLab Fusion一瞥 Pk444_"= ^/`:o}7K7
x]umh{H~ DArEIt6Q VirtualLab Fusion中的工作流程 K|$Dnma^n oL0Q%_9hW 构建光栅结构 jG=*\lK6 −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] l/[0N@r~ −倾斜光栅高级设定[用例] UEmNT9V •光栅衍射效率分析 mlCw(i, −光栅阶序分析器[用例] SpbOvY=> •使用参数优化进行光栅参数优化 cQDn_Sjhi •使用参数运行的容差分析 t6p}LNm(V U1(<1eTyu hY=#_r8 -DDH)VO VirtualLab Fusion技术 9u<4Q_I` %0 (,f
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