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摘要 +$Rt+S BD twx[s$O'b 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 R=KQ h?pkE
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/7YF mI/0 d0,s"K7@ VirtualLab Fusion中的工作流程 S)/_muP tq|hPd<C 构建光栅结构 6w@ Ii; −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ,#kIr −倾斜光栅高级设定[用例] FeTL&$O •光栅衍射效率分析 STaA]i}P −光栅阶序分析器[用例] 10U9ZC •使用参数优化进行光栅参数优化 QMpoa5ZQG •使用参数运行的容差分析 ;I!MLI cx0*X* k{Aj^O3gD Zp#v Hs VirtualLab Fusion技术 xoR;=ph ze]h..,]K
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