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    [技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-25
    摘要 DaS~bweMw  
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    对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 =,b6yV+$D  
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    VirtualLab Fusion一瞥 1N_T/I8_F  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 1s~rWnhVv  
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    构建光栅结构 ;m7~!m)  
    −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] l{*m-u5&;  
    −倾斜光栅高级设定[用例] vz(=3C[  
    •光栅衍射效率分析 |$;4/cKfy  
    −光栅阶序分析器[用例] %"cOX  
    •使用参数优化进行光栅参数优化  &.(iS  
    •使用参数运行的容差分析     nuDu  
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    VirtualLab Fusion技术 .820~b0  
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