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摘要 1#;^Z3 Khv}q.)F 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 lb*;Z7fx<' wxBZ+UP_
`'P&={p8 P.k>6T<U> 设计任务 UUbO\_&y Y%y
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SS8$.ot l=Jw6F+5 VirtualLab Fusion一瞥 G;pmR^ <"3${'$k`
+O8zVWr Pf?&ys6 VirtualLab Fusion中的工作流程 2ve<1+V_ car|&b 构建光栅结构 9AQ,@xP| −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] uTJ z"c`F −倾斜光栅高级设定[用例] *:un+k •光栅衍射效率分析 R^$EnrY(< −光栅阶序分析器[用例] *V+,X •使用参数优化进行光栅参数优化 ySDo(EI4 •使用参数运行的容差分析 L\bcR Rg46V-"d,@ XN?my@_HpM :9x]5;ma VirtualLab Fusion技术 rFm?Bu ]c|JxgU
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