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摘要
YtO|D LiKxq=K 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ES40?o*]x rb{P :MX
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}*L(;r)q XU"~h64] VirtualLab Fusion一瞥 cH>%r^G\ 6&/T@LQYrh
u7=U^}# D::rGB?.b VirtualLab Fusion中的工作流程 )wNP(
@$L $LU"?aAW 构建光栅结构 []D@Q+1 −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ttu&@
= −倾斜光栅高级设定[用例] >;[*!<pfK5 •光栅衍射效率分析 tToTxf~ −光栅阶序分析器[用例] I(XOE$3 •使用参数优化进行光栅参数优化 AF%@VLf •使用参数运行的容差分析 tPF.r N ,z6y5Lu 8w.YYo8` C9t4#" VirtualLab Fusion技术 4]E3cAJ cb}[S:&|
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