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摘要 Bmr<O! $G?(OWI}l` 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 \%_ZV9cKF jD<pIHau
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r\mPIr| ^e9aD9 VirtualLab Fusion一瞥 L{PH0Jf i-13~Dk
#MM&BC 4]BJ0+|mT VirtualLab Fusion中的工作流程 lBiovT I6w/0,azC 构建光栅结构 ,olwwv_8G −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] |zMqJ.qu −倾斜光栅高级设定[用例] [@.B4p •光栅衍射效率分析 q) _r3 −光栅阶序分析器[用例] swZpWC •使用参数优化进行光栅参数优化 i:k-" •使用参数运行的容差分析 c^-YcGwa i_Ar<9a~ IQ{?_' %|?1B$s0 VirtualLab Fusion技术 Jr?!Mh- )5i*/I\
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