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摘要 <X?F :?Mk e+wd>iiB 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 bd4q/w4q eORt
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3nO|A: t k&b>-QP6 设计任务 '#PT C,0UJ (agdgy:#
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'q VirtualLab Fusion一瞥 YdFC YSiS V;"'!dVX
^|Y!NHYH$Z c\Dv3bF VirtualLab Fusion中的工作流程 iaB5t<t1r }49?Z 3 构建光栅结构 *XJSa −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] EO5Vg −倾斜光栅高级设定[用例] )l=j,4nn •光栅衍射效率分析 y{&,YV&_h −光栅阶序分析器[用例] o! 8X< o •使用参数优化进行光栅参数优化 X\;y;pmRH •使用参数运行的容差分析 b|N EU-oy ?V0IryF; @9-qqU@ 9g7T~|P VirtualLab Fusion技术
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