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摘要 -Y/i
h(I^ zk8)!Af 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 xrg?{*\ P+hcj
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? −倾斜光栅高级设定[用例] b0$)G-E/Y •光栅衍射效率分析 Q*smH-Sw −光栅阶序分析器[用例] 2^WJ1: A •使用参数优化进行光栅参数优化 k5S;G"iJ •使用参数运行的容差分析 FXof9fa_B j?.F-ar 6L<:>55 cJ96{+ VirtualLab Fusion技术 v03cQw\"WE 8v"rM
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