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摘要 hO8xH +; g]vB\5uA: 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 5eff3qrH{ ZEI)U,
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c@[Trk m LMoZI0)x VirtualLab Fusion中的工作流程 0}<blU (o|bst][S 构建光栅结构 [M[#f&=Z −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] .S|7$_9;b −倾斜光栅高级设定[用例] o C|oh •光栅衍射效率分析 _:9}RT? −光栅阶序分析器[用例] XF(D%ygeC •使用参数优化进行光栅参数优化 Vpg>K #w •使用参数运行的容差分析 *MmH{!= (y]Z *p:EW Kc\8GkdB htbE
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