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摘要 9VdVom|e ncf=S(G+ 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 v:(_-8:F N7k<q=r-
8SK}#44Xz h=umt<&D 设计任务 ~hPp)-A h|"98PI
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/~V.qisZ %m1k^ VirtualLab Fusion一瞥 /Za'L#=R KB!.N[!v
\9dSI |5S/h{gq VirtualLab Fusion中的工作流程 .g_BKeU #+p30?r0y 构建光栅结构 ,$@nbS{Q] −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] EU.vw0}u8 −倾斜光栅高级设定[用例] Z W`
Ur> •光栅衍射效率分析 EL$"MT}p −光栅阶序分析器[用例] =cE:,z;g •使用参数优化进行光栅参数优化 8WK%g0gm •使用参数运行的容差分析 FCTz>N^p ]8KAat~J bs$x%CR @@K@;Jox VirtualLab Fusion技术 #$7 z awN{F6@ZE
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