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摘要 sXD.*D (&25 8i, 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 (8[et m 1;; is
xKilTh_.6 7O_@b$Q 设计任务 j89C~xP6 6;LM1
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g]'RwI l?F&I.{J VirtualLab Fusion一瞥 =}:9y6QR. QB<9Be@e
-h5yg`+1N\ mSn> VirtualLab Fusion中的工作流程 8\z5* IPGs $1QQidB 构建光栅结构 )c'5M]V −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] Pj4WWK X −倾斜光栅高级设定[用例] 0P(U^rkR~ •光栅衍射效率分析 V3<baxdE −光栅阶序分析器[用例] 8hx4s(1! •使用参数优化进行光栅参数优化 orGNza"A •使用参数运行的容差分析 0JQ0lzk1
5dH}cXs %SV5PO@ ubC(%Y_k VirtualLab Fusion技术 2OXcP!\Y ZI'MfkEZ*
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