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    [技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-25
    摘要 -ijC_`>  
    wT,R0~V0  
    对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 646JDX[o  
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    设计任务 j5$GFi\kB  
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    1级参数优化 u=x+ J=AH  
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    结果-容差分析 D{8PQ2x>  
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    结果-容差分析 Y f@e=:  
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    VirtualLab Fusion一瞥 3?I;ovsM  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 : rMM4  
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    构建光栅结构 CNZz]H  
    −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] uo%P+om_}  
    −倾斜光栅高级设定[用例] /D&%v *~E  
    •光栅衍射效率分析 'xY@x-o  
    −光栅阶序分析器[用例] +ZMls [  
    •使用参数优化进行光栅参数优化 pKiZ)3U  
    •使用参数运行的容差分析     sUJ%x#u}Fk  
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    VirtualLab Fusion技术 v{zMO:3  
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