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摘要 [*p;+&+/ZM S',h*e 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 BInSS*L J<"K`|F
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yZ,pH1 S8dfe~ |7: VirtualLab Fusion中的工作流程 .8^mA1fmX !AE;s}v)0{ 构建光栅结构 jFdgFKc) −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 0SYJ*7lPX
−倾斜光栅高级设定[用例] [;,E cw^ •光栅衍射效率分析 1?H;
c5?d& −光栅阶序分析器[用例] rtz-kQ38R •使用参数优化进行光栅参数优化 WUie`p •使用参数运行的容差分析 Y+Z+Y)K b'+Wf#.]f0 y4jiOhF<d @NA+Ma{N VirtualLab Fusion技术 |e@1@q(a[] ,dQ*0XO!
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