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摘要 d7P'c!@+ ^SWV!rrg 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 -(JBgM" ;.{J>Q/U,
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eOZ"kw"uHu -+fW/Uo VirtualLab Fusion中的工作流程 4uE|$ O"9Or3w 构建光栅结构 go?}M]c%7 −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] }ws(:I^ −倾斜光栅高级设定[用例] -\~HAnh •光栅衍射效率分析 ,qwVDYJ −光栅阶序分析器[用例] K$c?:?wmo •使用参数优化进行光栅参数优化 :aR_f`KMm •使用参数运行的容差分析 "Bl6)qw =)f5JwZPG h3j`X' e]@
B61lc VirtualLab Fusion技术 O
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