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摘要 ~),%w*L +Eb-|dM 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ) q'D9x9 nHbi{,3
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9HN&M*} 2l V`UIa VirtualLab Fusion中的工作流程 ]g9SUFM %2D'NZS 构建光栅结构 tq}sedYhee −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] n)a/pO_ −倾斜光栅高级设定[用例] )ZLj2H < •光栅衍射效率分析 VWdTnu −光栅阶序分析器[用例] fuHNsrNlm •使用参数优化进行光栅参数优化 n3V$Xtxw •使用参数运行的容差分析 9({ 9 r[U 2<0".5+I `xv Uq\ ^|h_[> VirtualLab Fusion技术 3VMaD@nYa [m< jM[w{
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