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摘要 )
~X\W\ _,5(HETE2 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 Ehg5u'cj KVJiCdg-
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#r −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] WC0@g5;1[ −倾斜光栅高级设定[用例] Bx;bc •光栅衍射效率分析 t/pHdxX*C7 −光栅阶序分析器[用例] 8&B{bS •使用参数优化进行光栅参数优化 BHqJ~2&FDW •使用参数运行的容差分析 P6dIU/w "C%;9_ig$ >PfYHO }B^KV#_{S VirtualLab Fusion技术 Jy{A1i@4~s a'rN&*P
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