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摘要 .uMn0PE BHU6t<G
对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 V{/?FO?E 4NheWM6
0=2@ 128EPK 设计任务 1mOh{:1u O;:mCt _H
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tE<H|_{L zPn+V7F 结果-容差分析 E7j(QOf fI ?>+I5
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\A 2r] #L=x%8B VirtualLab Fusion一瞥 ]7W&JKmA& h\fjBDU^
?~BC#B\>o sBj(Qd VirtualLab Fusion中的工作流程 )B"jF>9)[ (-UYB9s 构建光栅结构 q/4J.jL −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 3oF45`3FV −倾斜光栅高级设定[用例] X9v.1s, •光栅衍射效率分析 F~R;n_IJ −光栅阶序分析器[用例] oR)Jznmi} •使用参数优化进行光栅参数优化 dI.WK@W'o •使用参数运行的容差分析 jFQQ`O V /?uPEKr D=q:*x [\^n= VirtualLab Fusion技术 b z`+ k,* ]R+mKUZ9
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