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摘要 Uw. `7b>B i{NzV 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ]Ji.Zk i Dp)FQ$
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HT694Uz OUPUixz2Z VirtualLab Fusion一瞥 >=I|xY, _ @NL;w:!
7Jyy z,!5 ]___M VirtualLab Fusion中的工作流程 A@!qv#' b.JuI 构建光栅结构 <e=#F-DE −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] C\Wmq
[ −倾斜光栅高级设定[用例] {0Yf]FQb-a •光栅衍射效率分析 #C74z$ −光栅阶序分析器[用例] YW,tCtI0_ •使用参数优化进行光栅参数优化 vAF
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