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摘要 TC^fyxq 7=[/J*-m 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 c$52b4=a NncII5z
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`}|$eF& fi;00>y VirtualLab Fusion一瞥 o`<ps$yT &24$*Oe
J!@`tR- ,ou&WI yC VirtualLab Fusion中的工作流程 "E}38 wTkcR^ 构建光栅结构 !J-oGs\ u −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] Gfy9?sa −倾斜光栅高级设定[用例] {axMS yp; •光栅衍射效率分析 e<1)KqG −光栅阶序分析器[用例] %Tm8sQ)1 •使用参数优化进行光栅参数优化 xI(Y}> •使用参数运行的容差分析 @'fWS^ ;&
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