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摘要 B.o&%5dG sQkP@Y 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 q)/4i9
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MKbW^: YRK4l\_` VirtualLab Fusion中的工作流程 ;RR)C@n1 o,29C7Ii 构建光栅结构 X/Ae-1! −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] TPrwC~\B/ −倾斜光栅高级设定[用例] *aSFJK •光栅衍射效率分析 gw H6r3=y( −光栅阶序分析器[用例] $ZA71TzMV •使用参数优化进行光栅参数优化 +iXA|L9= •使用参数运行的容差分析 EprgLZ1B n@*NQ`(_ ^P[-HA| VL\6U05Z VirtualLab Fusion技术 BM3nZ<%3 LB>!%Vx
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