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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-24
    摘要 e4Ibj/  
    ai?J  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 z;9D[ME#1  
    `G: 1  
    >S}X)4  
     Jv3G\9_  
    建模任务 =e#h;x2  
    7.G"U  
    "DvZCf[}  
    概述 O-p`9(_m  
    %`5K8eB  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 af @a /  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 H"w;~;h  
    -:=m-3*Tg  
     fP4P'eI  
    v+g:0 C5 (  
    光线追迹仿真 "dt}k$Gr  
    \ Qx%7 6  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 RaSuzy^`*]  
    •单击go！ 5p~5-_JX  
    •获得了3D光线追迹结果。 jf;n*  
    0%&}wUjV  
     4,:I{P_>6B  
    *^ G,  
    光线追迹仿真 =BR+J9  
    \/ri|fm6l#  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 j ]%XY+e  
    •单击go！ l}(HE+?  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 X8*~Cf73u  
     _fn7-&6  
     ^vSSG5  :  
    :!CnGKgt  
    场追迹仿真 vdUKIP =|_  
    "S'Yn-  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 K5`*Y@  
    •单击go！ 58HAl_8W  
    gx^!&>eIb#  
    ;q%z\gA  
     havmhS)O  
    场追迹仿真（相机探测器） Xe: ^<$z  
    vc3r [mT  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 FhBV.,bU,m  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Ex]Ku  
    5Zhl@v,L%  
     eTgtt-;VR  
    }JQy&V%  
    场追迹仿真（电磁场探测器） vY.VFEP/  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 =6\^F i  
    JURu>-i  
    rrgOp5aV"  
     $A,YQH+  
    场追迹仿真（电磁场探测器） jp4-w(  
     /L(}VJg-  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 2)$-L'YS  
    &k_LK  
     v \; /P  
     
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