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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-24
    摘要 BF+i82$zo  
    1n )&%r  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 W`` -/  
    -x2&IJ!  
    _Q6` Wp6m  
     (`FY{]Wz!  
    建模任务 Q!v]njCIB7  
    (G`O[JF  
    vFg X]&bE  
    概述 j`ybzG^  
    p 28=l5y+  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 >'|Wrz67Z  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 p-,(P+Np  
    D./3,z  
     Y5$VWUrB  
    R?H[{A X  
    光线追迹仿真 +n&9ZC H  
    A_JNj8<6r  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 && E)  
    •单击go！ $J)2E g  
    •获得了3D光线追迹结果。 w@&(=C  
    6`U]%qx_I  
     #CTHCwYo  
    MgUjB~)Y  
    光线追迹仿真 e.? ;mD  
    M"|({+9eG  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 @86?!0bt  
    •单击go！ _"c:Z!L  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ;}E$>]*Yn  
    l F*x\AT  
     hT?|:!ED.F  
    Y[Kpd[)[v  
    场追迹仿真 "=vH,_"Ql  
    o`<ps$ yT  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 `sPH7^R  
    •单击go！ >}'WL($5U  
    tB==v{t  
    Xgyi}~AoaU  
     SWPb=[WEz  
    场追迹仿真（相机探测器） 7o4B1YD  
    +w'He9n  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 )2mvW1M=7;  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Zia<$kAO  
    Z"Byv.yqb  
     3KN>t)A#  
    XL!^tMk  
    场追迹仿真（电磁场探测器） v"J7VF2  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 /j:fc?yv  
    6UnWtLE  
    #xBh62yIuP  
     QDpzIjJj  
    场追迹仿真（电磁场探测器） J'#R9NO<  
     mqk tM6  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 6;{E-y  
    PWbi`qF)r  
     0$\ j  
     
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