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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-24
    摘要 7P<f(@0h$E  
    >mX6;6FF  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 |T@SlNi]  
    JRw,${W  
    bXvO+I<  
     "3\y~<8%'  
    建模任务 ; cvMNU$fN  
    8-NycG&)  
    *U,J Q  
    概述 IHdA2d?.]  
    z4Zm%  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Yi?bY  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 |(Mxbprz  
    SMD*9&,  
     :`zO%h  
    Y|Q(JX  
    光线追迹仿真 Fz';H  
    3a.!9R>  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 zmGHI! tP  
    •单击go！ F5RL+rU(h  
    •获得了3D光线追迹结果。 't}\U&L.{  
    lUB?eQuN_  
     <O 0Q]`i  
    \/YRhQ  
    光线追迹仿真 mdEJ'];AH  
    e' o2PW  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 9>w~B|/  
    •单击go！ <[)-Q~Gg5  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 iW(LD1~7  
    ah:["< z<  
     kEnGr6e  
    dEtjcId  
    场追迹仿真 Kh\ 7%>K#  
    uL^; i""  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 XLt/$Caf  
    •单击go！ B223W_0"o  
    ^#<L!yo^  
    &]o-ZZX  
     Bk~C$'x4  
    场追迹仿真（相机探测器） 'Gl~P><e  
    ;7z6B|8  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ]nUrE6  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。  C7ivA h  
    {IJ;)<>&VE  
     E+O{^C=  
    'c7nh{F  
    场追迹仿真（电磁场探测器） aYaEy(m  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Pj <U|\-?  
    uKP4ur@1  
    z;>$["t]6  
     _GG\SWm  
    场追迹仿真（电磁场探测器） q k^FyZ<  
     ]qT&6:;-]  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 4-.K<-T%D  
    .@,t}:lD  
     q-<DYVG+  
     
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