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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-24
    摘要 1oQbV`P  
    DUH_LnHw)  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 T!HAE#xC  
    ,8d&uR}x  
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     LnN:;h  
    建模任务 &^uaoB0  
    D ] n|d+  
    LP'q$iB!  
    概述 -1`}|t;  
    >!{8)ti  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 m({ q<&]Qp  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 |$ZS26aYw}  
    Q2* 8c$  
     +7n vy^m  
    lN{>.q@V`r  
    光线追迹仿真 p9mGiK4!  
    p=Le oc1  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 #o9CC)q5G  
    •单击go！ NWQ7%~#k*  
    •获得了3D光线追迹结果。 `T ^0&#  
    )  LTV+?  
     es\ qnq  
    Zr A*MN  
    光线追迹仿真 d(R8^v/L  
    NLYf   
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 x!pd50-   
    •单击go！ &jQqlQ j  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 N2k{@DY  
    z7)$m0',?  
     (nuTfmt>  
    {#`wW`U^  
    场追迹仿真 CRrEs 18;#  
    T g3MPa#g  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 m39.j:BG5  
    •单击go！ _FS #~z'j  
    yf R0vp<&  
    8oRq3"  
     /d Ua  
    场追迹仿真（相机探测器） 9Av{>W?  
    tx`^'%GMA  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ^gpd '*b  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ba ,n/yH  
    7M5H vG#w%  
     O*,O]Q  
    tI#65ox#  
    场追迹仿真（电磁场探测器） g/P1lQ)  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 T('rM :)/  
    -;qK_x  
    :J2^Y4l2  
     XH/!A`ZK  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ;4/ n~  
     [O!/hppN  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 w-v8 P`V  
    n-qle5sj  
     d.B<1"MQ  
     
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