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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-24
    摘要 Eo Ko   
    hd8B0eD'  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 HM 90Sb  
    VZTmzIk.Y  
    ot0U-G(  
     `ReGnT[  
    建模任务 6UO$z-e  
    J ZA*{n2  
    'H!V54 \j  
    概述 !"`Jqs  
    G~S))p  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 df^0{gNHx  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 6N&| 2:U  
    :q(D(mK  
     "% SX@  
    9QC< E|  
    光线追迹仿真 lS#7x h  
    PP],HB+*[  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 :Jm!=U%'Z  
    •单击go！ x\6] ;SXX  
    •获得了3D光线追迹结果。 ~};]k}  
    +;YE)~R?  
     Jb7iBQ2%  
    zUJx&5/  
    光线追迹仿真 nT#37v  
    |^ ?`Q.|c$  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Bpm,mp4g\#  
    •单击go！ k&yQ98H$K"  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。  8>ESD}(  
    '^e0Ud,  
     (VfwLo>#  
    Z>X9J(=  
    场追迹仿真 _a fciyso  
    Ndo}Tk!  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 kp'b>&9r  
    •单击go！ )4@M`8  
    &ycjSBK  
    E1#H{)G  
     33*^($bE&  
    场追迹仿真（相机探测器） #]k0Z~Bl  
    FMoJ"6Q  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 h>~jQ&\M  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Pb0)HlLq  
    _cR6ik zW(  
     UVz=QEuYb  
    zMbfV%b  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 92s4u3 L;  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ,?Ok[G!cm  
    >y]?MGk  
    ^g}L`9fL  
     ~(stA3]k  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ]gb _Nv  
     wj}=@HS,3!  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 [SK2x4  
    ur?d6 a  
     XAw2X;F%  
     
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