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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-24
    摘要 hD\C[C,  
    hMw}[6m  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 9&}qie,  
    &K k+RHM  
    xtU)3I=F%  
     B dm<<<  
    建模任务 {U=za1Ga  
    #UU}lG  
    ^~MHxF5d  
    概述 $y=sT({VVe  
    ,=>O/!s  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 13A11XTp  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 @N.W#<IG  
    B7t#H?  
     n*D)RiW  
    l) VMF44  
    光线追迹仿真 CT4R/wzY7  
    W5:S+  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 1`_Mc ]  
    •单击go！ F5L/7j<}  
    •获得了3D光线追迹结果。 R|!4Y`  
    Cgw#c%  
     )'%L#  
    1; L!g*!E  
    光线追迹仿真 F>A-+]X3o  
    vWfC!k-)b  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 2~h)'n7Mw  
    •单击go！ "_'9KBd!  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 xKsn);].`  
    9 J5Z'd_  
     ]2zx}D4f  
    pfAp2"  
    场追迹仿真 Jc9SHCJ  
    9FK:lFGD  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ?\hXJih  
    •单击go！ X+ iA"B  
    #D//oL"u]  
    s'\"%~nF<  
     94nvh:n  
    场追迹仿真（相机探测器） cx_"{`+e  
    *N'B(j/  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 "cJ5Fd:*  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 pJ_Z[}d)c  
    L/nz95  
     LZ&CGV"Z-  
    m/Yi;>I(  
    场追迹仿真（电磁场探测器） D>*%zz|  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 8Qu].nKe  
    vn}Vb+@R  
    HEe0dqG  
     {!oO>t  
    场追迹仿真（电磁场探测器） d:sUh  
     BzWmV .5  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 {AIZ,  
    (nda!^f_s  
     (:T~*7/"  
     
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