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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 34分钟前
    摘要 lxL.ztL  
    j9[I6ko5'  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 .A<Hk1(-)  
    mYgfGPF`  
    0<\|D^m=&h  
     OLb s~ >VA  
    建模任务 ~?ezd0  
    MZ,1mR  
    8eS(gKD  
    概述 O68-G  
    Qs,\P^n  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 hXjZ>n``  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 *{w0=J[15  
    HD=F2p  
     +112{v=!i  
    '37 {$VHw  
    光线追迹仿真 Mc@9ivwL#  
    ZDFq=)0C  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 |?^<=%  
    •单击go！ ,w#lUg p  
    •获得了3D光线追迹结果。 "?3=FBp&  
    UGO;5!  
     d,(y$V+  
    4<#ItQ(  
    光线追迹仿真 |})s0TU  
    Hloe7+5UD  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 )_jboaNzwI  
    •单击go！ OX;(Mg|  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Dz~0(  
    NlEyT9  
     OOSf<I*>  
    -iDs:J4Iq  
    场追迹仿真 cpa" ,8  
    8/aJ4w[A  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ;]-08lzO<4  
    •单击go！ |KYl'"5\  
    #Zm`*s`  
    ;\0|1Eem`  
     HqWWWCWal  
    场追迹仿真（相机探测器） );.$  `0  
    ! *sXLlS  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 4P3RRS  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 / 3N2?zS{  
    k _V+;&:%  
     vMp=\U-~^  
    caQ1SV^{9  
    场追迹仿真（电磁场探测器） plWNuEW  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 C|&tdh :g  
    #EzhtuHxn  
    'r!!W0-K  
     s5@BVD'}E  
    场追迹仿真（电磁场探测器） =T[P  
     Wa^Wn +r  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 -NwG' U~  
    (10t,n$  
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