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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2025-11-24
    摘要 ]H7_bix  
    U:>'^tkp  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 z<rdxn,9  
    V#!ihL/>  
    HGmgQ>q@M$  
     RsU=fe,  
    建模任务 `pY\Mmgv1  
    J=6 7As  
    9@C3jZ+9`H  
    概述 (A?{6  
    9"R]"v3BA  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 5=Mm=HyI2  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 DHGv< F@  
    {s|rk  
     13Ga #  
    cs`/^2Vf"#  
    光线追迹仿真 W<TW6_*e  
    1(M0C[P  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 !c:Q+:,H  
    •单击go！ a8aEZ724  
    •获得了3D光线追迹结果。 8^=g$;g  
    bJe*J\){  
     evPr~_  
    I.tJ4  
    光线追迹仿真 joDnjz=  
    &oiX/UaY  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 (,Yb]/O*  
    •单击go！ 8):I< }s#  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 wXDF7tJh  
    noe1*2*TE  
     ^4]#Ri=U  
    m_~ p G  
    场追迹仿真 &/R@cS6}'  
    xBU\$ToC  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 \(.&E`r  
    •单击go！ 9}`O*A=KC  
    0IBVR,q  
    +] B  
     WKX5Dl  
    场追迹仿真（相机探测器） F1R91V|  
    TW).j6@f  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 (.P;VH9R\  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 HKq 2X4J$  
    %0INtq  
     jpyV52  
    E!Hq%L!/  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ADA%$NhJ!  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 5. :To2  
    JWy$` "{  
    tu77Sb  
     Nv*x^y]  
    场追迹仿真（电磁场探测器） :q~qRRmjBe  
     c }ivYH?`w  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 yk#yrxM  
    +@]1!|@(  
     l7aGo1TcIh  
     
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