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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2025-11-24
    摘要 ac1(lD  
    O3pd5&^g  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 F*-'8~T  
    d@zxgn7o  
    +>yspOEz  
     6rO^ p  
    建模任务 Pon0(:#1  
    :^FH.6}x  
    k L4#  
    概述 s!1/Bm|_T  
    q ;_?e_  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 2EO9IxIf  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 R[TaP 7n  
    e)3Mg^  
     G;U SVF-'K  
    k0TQFx.A  
    光线追迹仿真 &3)6WD?:U  
    =`Ky N/  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 TJB4N$-}A  
    •单击go！ b{X.lz0  
    •获得了3D光线追迹结果。 Ec}9R3 m  
    JV+Uy$P!  
     iTF%}(  
    > kwhZ/x  
    光线追迹仿真 O"_QDl<ya  
     Bgai|l  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ' -aLBAxy  
    •单击go！ 4`7~~:W!M5  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 B%o%%A8*g  
    ^PMA"!n8  
     T8x/&g''  
    Iv{iJoe;UH  
    场追迹仿真 j J54<.D  
    *$/Go8t4u  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 .'2"83f  
    •单击go！ M3dUGM  
    RusiCo!r  
    >!c Ff$2'  
     !A14\  
    场追迹仿真（相机探测器） kHQn' r6  
    h,K&R8S  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 cvx"XxE,  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 #kJ8 qN  
    r\y\]AmF  
     `[ZA#8Ma  
    #}8VUbJ  
    场追迹仿真（电磁场探测器） YYvX@f  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 "kucFf f  
    a(h@4 x  
    WJ 'lYl0+7  
     rAgpcp}  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ?pA_/wwp  
     DvA#zX[  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 v v   
    2"o <>d  
     YG>Eop  
     
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