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摘要 ac1(lD O3pd5&^g 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 F*-'8~T d@zxgn7o
+>yspOEz 6rO^ p 建模任务 Pon0(:#1 :^FH.6}x k L4 # 概述 s!1/Bm|_T q;_?e_ •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 2EO9IxIf •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 R[TaP7n e)3Mg^
G;USVF-'K k0TQFx.A 光线追迹仿真 &3)6WD?:U =`Ky N/ •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 TJB4N$-}A •单击go! b{X.lz0 •获得了3D光线追迹结果。 Ec }9R3 m JV+Uy$P!
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kwhZ/x 光线追迹仿真 O"_QDl<ya Bgai|l •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 '
-aLBAxy •单击go! 4`7~~:W!M5 •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 B%o%%A8*g ^PMA"!n8
T8x /&g'' Iv{iJoe;UH 场追迹仿真 j
J54<.D *$/Go8t4u •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 .'2"83f •单击go! M3dUGM RusiCo!r >!c Ff$2' !A14\ 场追迹仿真(相机探测器) kHQn'r6 h,K&R8S •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 cvx"XxE, •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 #kJ8 qN r\y\]AmF
`[ZA#8Ma #}8VUbJ 场追迹仿真(电磁场探测器) YYvX@f •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 "kucFf f a(h@4 x WJ 'lYl0+7 rAgp cp} 场追迹仿真(电磁场探测器) ?pA_/wwp DvA#zX[ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 vv 2"o<>d
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