-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2026-01-09
- 在线时间1913小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 C&oxi$J:p+ "?+ UI 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 C &FN#B
A ' )(SGSc
 gpsrw>nw
~q5-9{ma 建模任务 J;"nm3[.q .yG8B:7N2  O{*GW0}55 概述 d)9PEtI ~|qXt ds$ •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 zo87^y5?G •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Hc"N&
%X[ UzN8G$92qF
 DZF[dxH AwA1&mh 光线追迹仿真 vN' VDvVM ,%.:g65% •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ;q'D Gzh •单击go！ .;cxhgU •获得了3D光线追迹结果。 EOofa6f&l r$Yh)rpt:
 ~ }Kp
%L{ 光线追迹仿真 aKa R k` {RX x •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 o8iig5bp •单击go！ M P_ A<F •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 70d] d+M| {_? T:`
 5F% h>tqh dw'<" +zO 场追迹仿真 5~v(AB(x s0_-1VU •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 O-y6!u$6& •单击go！ hw EZj`9 &?}kL=
h  NKupOJJq
LuQ"E4;nY% 场追迹仿真（相机探测器） \ 9[NH/.Z{ -[i4 0
1 •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 p} t{8j > •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 '-$))AdD -lJx%9>
 !N@S^JD6 R4z<Xf:! 场追迹仿真（电磁场探测器） Z%, \+tRe •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 JL}hOBqfI ;:#?~%7>  z v L>(R
f}Ne8]U/Hc 场追迹仿真（电磁场探测器） BK`Q)[
I ?^Q084 •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 !mpMa]G3 ^g}gT-l%
 7 K;'7
|
