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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 51分钟前
    摘要 Q&9& )8-  
    4U:+iumy2  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 JGk,u6K7  
    fKT(.VN q5  
    AwL;-|X  
     on1mu't_;  
    建模任务 e3>k"  
    KBGJB`D*  
    Py,@or7n  
    概述 d_Vwjv&@/"  
    8%#uZG\}  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 c[0$8F>  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 v]27+/a$c  
    oAp I/o  
     l+ <x  
    y/2U:H  
    光线追迹仿真 Afa{f}st  
    `P4qEsZE>`  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 k .l,>s`!  
    •单击go！ =U".L  
    •获得了3D光线追迹结果。 Lp*T=]C]  
    ?0Ca-T Rz  
     Jq`fD~(7  
    am05>c9  
    光线追迹仿真 }Mo9r4}  
    0?t!tugG  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 _>:g&pS/  
    •单击go！ Vt4}!b(O  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ikRIL2Y  
    w } 2|Do$5  
     AjANuyUaP  
    FZmYv%J  
    场追迹仿真 hOMFDfhU  
    ?\F,}e  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 k*c:%vC!  
    •单击go！ 1,`x1dcO!A  
    @#H{nj Z  
    L{fP_DIa  
     |2 wff?  
    场追迹仿真（相机探测器） <CmsnX  
    5\Y/so=  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Pe wPl0  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 v|,Hd  
    [Iihk5TT  
     iK %Rq  
    Ft.BfgJ$  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Dfhs@ z  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $=m17GD  
    '/ &"  
    -6tF   
     C${TC+z  
    场追迹仿真（电磁场探测器） >6DY3\  
     QT&{M #Ydn  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ycAQPz}=I  
    !d0@^JbM"  
     VDmd+bvJV  
     
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