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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2025-11-24
    摘要 'T&=$9g7  
    ^Ff~j&L@{  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Ux%\Y.PPI  
    bMK#^ZoH  
    +LQs.*  
     ;qMnO_ E  
    建模任务 VurP1@e&  
    SU_] C+  
    yZj}EBa  
    概述 +eV4g2w)  
    g|GvJ)VX  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 w]o:c(x@  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 /JK-}E  
    %U=S6<lbj;  
     _Cv[`e.  
    dCoi>PO  
    光线追迹仿真 RAD4q"}k  
    a.Rp#}f  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ZZ]OR;8  
    •单击go！ ={mPg+Ei'  
    •获得了3D光线追迹结果。 Mu_mm/U_  
    SBN_>;$c5}  
     % L %1g  
    = h<? /Krs  
    光线追迹仿真 XoH[MJC  
    0w'y#U)&8  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 {d?4;Kd  
    •单击go！ 6'No4[F 4n  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 U!;aM*67  
    .qqb> 7|q  
     Ye\*b? 6  
    t_zY0{|P  
    场追迹仿真 Oc"'ay(g  
    z`xz~9a<  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 (Qh7bfd  
    •单击go！ cmr6,3_  
    "zeJ4f  
    WDH[kJ  
     08K.\3  
    场追迹仿真（相机探测器） 11@2;vw  
    +Qi52OG  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 1EAVMJ  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 GmmT'3Q  
    P/gb+V=g!  
     p^zEfLTU  
    :)J~FVLy  
    场追迹仿真（电磁场探测器） }ygbgyLa  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Hs4zJk  
    \HP,LH[P:  
    pRxlvVt  
     %:be{Y6  
    场追迹仿真（电磁场探测器） wsb=[$C  
     X_tW#`  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 >;'1k'  
    `~aLSpB65  
     Ti@P4:q  
     
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