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摘要 iVUkM3 x%`.L6rj 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 A8zh27[w% e,X{.NS
|<aF)S4 &*\-4)Tf 建模任务 (Qp53g Z/*X)mBuB Kqn{q4L 概述 !iHJ! dBeZx1Dy •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 C4h4W3w •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 >39\u&) AnW72|=A(
},& =r= B g-NfZj? 光线追迹仿真 h+ggrwg' abczW[\ •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 "b6ew2\ •单击go! ;XDGlv% •获得了3D光线追迹结果。 Eo@b)h >$/PfyY7@#
vUD>+*D 8)m 光线追迹仿真 *D:"I!Ho :OC(93d)0 •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 yu98d1 •单击go! -6yFE- X/ •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 rd0[(- cpJ(77e
--'!5)U =e!o 场追迹仿真 +}-Ecr O~L/>Ya •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 enw7?| ( •单击go! #$*l#j"#A JQdeI+ YgCSzW&( lr-:o@q{ 场追迹仿真(相机探测器) A{(<#yRfg W9A
[Z •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 sncc DuS •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 y'21)P !3JYG
TxDzGC +^tw@b 场追迹仿真(电磁场探测器) G&f~A;'7k •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |`c=`xK7' `a:L%Ex hnp-x3 `xm4?6 场追迹仿真(电磁场探测器) )gb gsQZ 7$/%c{o •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 A3cW8OClz Q ,6[
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