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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2025-11-24
    摘要 iVUkM3  
    x%`.L6rj  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 A8zh27[w%  
    e,X {.NS  
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     &*\-4)Tf  
    建模任务 (Qp53g  
    Z /*X)mBuB  
    Kqn{q4L  
    概述 !iHJ!  
    dBeZx1Dy  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 C4h4W3w  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 >39\u &)  
    AnW72|=A(  
     },& =r= B  
    g-NfZj?  
    光线追迹仿真 h+ggrwg'  
    abczW[\  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 "b6ew2\  
    •单击go！ ;XDGlv%  
    •获得了3D光线追迹结果。 Eo@b)h  
    >$/PfyY7@#  
     vUD>+*D  
    8)m  
    光线追迹仿真 *D:"I!Ho  
    :OC(93d)0  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 yu9 8d1  
    •单击go！ -6yFE- X/  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 rd0[(-  
    cpJ(77e  
     --'!5)U  
    =e!o  
    场追迹仿真  +}-Ecr  
    O~L/>Ya  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 e nw7?|(  
    •单击go！ #$*l#j"#A  
    JQde I+  
    YgCSzW&(  
     lr-:o@q{  
    场追迹仿真（相机探测器） A{(<#yRfg  
    W9A [Z  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 snccDuS  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 y'21)P  
    !3J YG  
     TxDzGC  
    +^tw@b  
    场追迹仿真（电磁场探测器） G&f~A;'7k  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |`c=`xK7'  
    `a:L%Ex  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） )gb gsQZ  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 A3cW8 OClz  
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