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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-24
    摘要 iV9wqUkMv  
    mGx!{v~i&  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 .EeXq }a[  
    {UqSq  
    iMG)zPj  
     od~^''/b  
    建模任务 fP3e{dVf  
    .OhpItn  
    +;z^qn  
    概述 >tF3|:\  
    t~5m[C[`w  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 |OW/-&)  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 !ieMhJ5r  
    N>h/!# ZC  
     =5:L#` .  
    `=m[(CLb  
    光线追迹仿真 #,dNhUV#  
    =$bJ`GpJ  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 A:|dY^,:?*  
    •单击go！ Vb{5-v ;a  
    •获得了3D光线追迹结果。 3a9%djGq  
    yx5F]Z<M2  
     NUxOU>f  
    =^liong0  
    光线追迹仿真 Pjz_KO/  
    D5]AL5=Xt2  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 d)@Hx8  
    •单击go！ Ah^0FU%!g  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ?:StFlie  
    \YUl$d0  
     u&4CXv=  
    `Fn"%P!  
    场追迹仿真 FHztF$Z  
    t "y[  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ~nit~ ;  
    •单击go！ L'i0|_  
    WP(+jL^-  
    lKVy{X 3]*  
     Za,MzKd=  
    场追迹仿真（相机探测器） a[e&O&Z  
    +Dvdv<+  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 s |40v@ M  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 kg,t[Jl  
    -Iq W@|N  
     R$>]7-N}  
    * SAYli+@  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ZtzSG@f  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 48}L!m @  
    'K|Jg.2  
    [^N8v;O  
     NxOiT#YH  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 01N]|F:  
     GUX! kj  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 )gX7qQ  
    @B.;V=8wJ  
     tKr.{#)  
     
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