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摘要 '~zi~Q7M $f+cd8j?o 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 e <+b?@}=B
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kc<5wY_t 建模任务 y:Aha#< ^#U[v 7y  9K- ,#a 概述 ZP
] O k FSYs1Li_C •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 svtqX-Vj" •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Tt4Q|"CJA -FW^fGS+
 eu'~(_2 8y;gs1d;A 光线追迹仿真 HQMug 3rX 40>Cs8 •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 p!K^Q3kO •单击go！ nX8ulGG s •获得了3D光线追迹结果。 >96+s)T%; *'@ sm*
 ,s/laZ)V t+D= @"BZP 光线追迹仿真 1p=bpJC ??lsv(v- •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ,\N4tG1\ •单击go！ \{v-Xe&d^ •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 H~bbkql )nrYxxN
 k106fT]eX %!8w)1U 场追迹仿真 9+ |W; NDJP`FI •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 O`T_'.Lk •单击go！ |XV`A)=f t< " %m)J  4gZ)9ya
Rw hKW?r+ 场追迹仿真（相机探测器） 2w fkXS=~6 0[ (kFe •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 tJmy}.t1 •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。
n% Oq"`w4 M*D@zb0ia
 +.zX ?} p{+F{e 场追迹仿真（电磁场探测器） <'\! •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 {a15s6'd x+b.9f4xJ  n3j_= (
(LJ7xoJ^ 场追迹仿真（电磁场探测器） ?Ezy0>j
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