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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-24
    摘要 "0uM%*2  
    NTD1QJ  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Y<|JhqOXK  
    ;py9,Wno  
    >O<a9wz  
     #Lpw8b6  
    建模任务 L {P'mG=4  
    a7c`[   
    u4IK7[=  
    概述 =3c?W&:  
    ~Ni  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 '5 Yzo^R;  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 -N% V5 TN  
    &BLCP d  
     SGSyO0O  
    \?]U*)B.r  
    光线追迹仿真 "d:rPJT)(@  
    haBmwq(f  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 {j9TzR  
    •单击go！ J{^md0l  
    •获得了3D光线追迹结果。 :P}3cl_  
    b6 %m*~  
     |,p"<a!+{w  
    COsmVQ.  
    光线追迹仿真 e,epKtL  
    Et!J*{s  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 jQ;/=9  
    •单击go！ cN0 *<  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 :Bmn<2[Y;  
    3nG.ah  
     PkrVQH9^w  
    a51e~mg Z`  
    场追迹仿真 2L1y4nnbwo  
    pdRM%ug   
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 . 2$J-<O  
    •单击go！ /^AH/,p  
    k7Bh[ ..!  
    %h@1lsm1+  
     g5@JA^\vZT  
    场追迹仿真（相机探测器） 5aizWz  
    ?VNtT/  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 sJ|pR=g)!  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 c 9f"5~  
    ]B,tCBt  
     ,_u7@Ix  
    Cu8mNB{H  
    场追迹仿真（电磁场探测器） +#MXeUX"  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ;Y\LsmZ;F  
    fr/EkL1Dl  
    4`Ud\Jm[s  
     M !'d  
    场追迹仿真（电磁场探测器） >O?WRC B  
     8In\Jo$|q>  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 4HGT gS  
    7. <jdp  
     8{jXSCP#  
     
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