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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-24
    摘要 ;5|d[r}k3  
    RP^L.X(7^  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 $;";i:H`  
    ?`:+SncI"b  
    Y|#< kS  
     [$]-W$j+  
    建模任务 D3O)Tj@:}(  
    RdjoVCf  
    !(S.7#-r  
    概述 `OZiN;*|  
    tH vP0RxM  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ),,0T/69+9  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Dz$dJF1 8  
    eOb)uIF  
     Cpn!}!Gnf  
    on7? V<  
    光线追迹仿真 F)aF.'$-/  
    'v(b^x<ZS  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 aMK\&yZD  
    •单击go！ A0ZU #"'/  
    •获得了3D光线追迹结果。 Yru,YA   
    f(EO|d^u  
     1O2V!?P  
    WxJaE;`Ige  
    光线追迹仿真 $F/xv&t  
    MHCwjo"  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ^C2SLLgeJ  
    •单击go！ O^~nf%  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Q}^qu6  
    dA#'HMh@  
     {(d 6of`C_  
    :@Ml-ZE  
    场追迹仿真 *y~~~ 'J/  
    >+%0|6VSb  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Vc8w[oS  
    •单击go！ bz`rSp8h  
    $GD Q1&Z  
    e[QEOx/-h2  
     B}I9+/|{  
    场追迹仿真（相机探测器） iML?`%/vN  
    94lz?-j  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 CE4Kc33OU|  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 K:$GmV9o  
    AgOti]`aR  
     h.xtkD)Y~  
    QwnqysNx4  
    场追迹仿真（电磁场探测器） L7yEgYB  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~T=a]V  
    G1SOvdq  
    'qoaMJxN`  
     <Ug1g0.  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Om8Sgy?  
     -c[fg+L9  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 m-9ChF: U  
    )|&FBz;  
     Z>.('  
     
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