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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-24
    摘要 P$H9  
    S2\|bs7;J,  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 \1MMz Z4rf  
    Nu[0X  
    ,3,(/%=k  
     AM:lU  
    建模任务 v*lj>)L  
    6V&HlJH  
    w7e+~8|  
    概述 ]w5j?h"b  
    p 02E:?  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 "V3f"J?  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Naa "^  
    LSlYYyt  
     n1Fp$9%  
    v2KK%Qy  
    光线追迹仿真 sIz*r Gz  
    Ch0t'  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 !g2 ~|G  
    •单击go！ pRc<U^Z.h  
    •获得了3D光线追迹结果。 "eH.<&  
    7\<}378/^  
     >mCS`D8  
    LEJn 1  
    光线追迹仿真 nJr:U2d  
    %<yH6h*u  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 &Ndq ^!e  
    •单击go！ TO]7%aB  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 l}& &f8n  
    {Q/_I@m].  
     .[:2M9Rx  
    <c_'(   
    场追迹仿真 9*CJWS;  
    \ ~uY);  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 sA:k8aj  
    •单击go！ lEr_4!h$rZ  
    cqZuG}VR  
    !K8V":1du#  
     @mm~i~~KA  
    场追迹仿真（相机探测器） b Sm*/Q  
    ){FXonVP  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 met`f0jw  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 LG:Mksd8=4  
    MzpDvnI9  
     ,cwjieM  
    th]pqhl>  
    场追迹仿真（电磁场探测器） F&)(G\  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 q 7aH=dhw  
    d45mKla(V  
    )^[PW&=W|x  
     5$<Ozkj(  
    场追迹仿真（电磁场探测器） !Jk|ha~r  
     ^#p+#_*V  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |N+uEiJ  
    Y:KIaYkk  
     %=<Kb\  
     
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