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摘要 ;^ov~PPl 0BFz7 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 >[P%Ty);
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`WlH*p)z9 建模任务 C9pnU,[ Gc^t%Ue-H)  en%B>]QI 概述 g? I!OG "ZqEP R) •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 TZBVU&,{Z •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Z>h{`
X\2 f| =# q
 dm 2EH ,P~QS 光线追迹仿真 & L'6KEahR v lAy!:CV •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 F; W' •单击go！ B6uRJcD 4 •获得了3D光线追迹结果。 D@*| 2 4y L,W:,i/C
 ) WclV~ w -M7opkq 光线追迹仿真 F#KF6)P j^{b^!4~} •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 =t HD 4I •单击go！ |
F8]Xnds •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 MU*It"@}2 Yu ;9& b
 FF jRf /wlFD,+8 场追迹仿真 hu&n=6 xlk5Gob* •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
&AJUY()8 •单击go！ :k\} I k wZ
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X= SG 场追迹仿真（相机探测器） Zq^^|[)bA 1NW>wo •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 w~p4S+k& •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 &D^e<j}RQ z41D^ }b
 n}f3Vrl l -XnB 场追迹仿真（电磁场探测器） -&$%|cyThQ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |Cu1uwy ig+k[`W  u !M& ;QL
J OPTc] 场追迹仿真（电磁场探测器） uRFNfX(*
n00z8B1j(l •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 fG3wc
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