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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-24
    摘要 dB)9K)  
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    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 76MsrOv55  
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    建模任务 _t.FL@3e  
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    SfDQ;1?  
    概述 OOLe[P3J3  
    W78o*z[O  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 AN10U;p/O  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 <IH*\q:7  
    U"x~Jb3]O  
     oFyeH )!  
    Q7k.+2  
    光线追迹仿真 b;{h?xc6  
    gb_X?j%p7  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 4<Kgmy  
    •单击go！ E\! n49  
    •获得了3D光线追迹结果。 kH2oK:lN  
    t?.\|2  
     pzSqbgfrQ  
    #Q+R%p  
    光线追迹仿真 0BXs&i-TP5  
    A\g%  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 vzy!3Hiw  
    •单击go！ Y-~;E3(  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 xppkLoPK  
    MCd F!{  
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    LaT8l?q q  
    场追迹仿真 -pX|U~a[  
    x\]z j!  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 w .l|G,%=  
    •单击go！ `:3&@.{T(  
    MA"#rOcP  
    qOgtGN}k  
     F,.Q|.nN  
    场追迹仿真（相机探测器） w>vmF cp  
    tx)OJY  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 MC6)=0:KX  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 [yvt1:q  
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     3B -NY Ja  
    /pU|ZA.z'2  
    场追迹仿真（电磁场探测器） kU(kU2u%9  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 26}u4W$  
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    场追迹仿真（电磁场探测器） QSv^l-<  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 "Whwc   
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     Ri[S<GOMii  
     
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