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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2小时前
    摘要 #)] c0]p  
    w^{! U  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 e g3L:rk_  
    O-PdM`mqW  
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     xmr|'}Pt[  
    建模任务 :wipE]~4t  
    `f)(Y1%.  
    ntGq" o  
    概述 .N"~zOV<#  
    O?ktWHUx  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 c!Dc8=nE0m  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 8Kk\*8 <  
    hCC}d0gf`n  
     PZ,z15PG]  
    6Cc7ejt|u  
    光线追迹仿真 A-wRah.M  
    u 9]1X1wV  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 N:x0w+Ca  
    •单击go！ UFENy."P  
    •获得了3D光线追迹结果。 eko]H!Ov(  
    }U[-44r:  
     S LGW:  
    f=`33m5  
    光线追迹仿真 #$'FSy#  
    6t}XJB$+7  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 64U6C*w+  
    •单击go！ y3IWfiz>/d  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 'RTtE  
    mqFq_UX/ T  
     'Kz9ygZy  
    r]LCvsVa  
    场追迹仿真 Hk;-5A|9  
    kX2d7yQZz  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 "&QH6B1U6H  
    •单击go！ &q>zR6jne  
    ue0s&WF|  
    SW9fE :v  
     B?6QMC;  
    场追迹仿真（相机探测器） u~F~cDu  
    v0@)t&O  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 R1%y]]*-P  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Qn=$8!Qqa  
    s".HEP~]=  
     j*zD0I]  
    OW`STp!  
    场追迹仿真（电磁场探测器） js <Ww$zFW  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 SUE ~rb  
    Q~Ea8UT. #  
    }htPTOy5  
     Ty+I8e]{  
    场追迹仿真（电磁场探测器） &88oB6$D^q  
     KQmZ#W%2m  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 IOEM[zhb$  
    Z8&' f,  
     ctJ&URCi#  
     
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