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摘要 V)`A,7X j}d):3! 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 E_I-.o|
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~(-1mB, 建模任务 x;`G n_
~ @*q8l C  _KKux3a 概述 |&xaV-b9W kZo# Ny •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 :3XvHL0rx •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 {[`(o
0@( . AOc$Nt
 )P? F ni} n1 GX` K 光线追迹仿真 65JG#^)KaX TB?'< hD: •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 '
`c \Dq •单击go！ G_5{5Ar •获得了3D光线追迹结果。 $] xH"Z%" 2O@ON/
 }yn%_KQ0 ZMZWO $"K1 光线追迹仿真 5._QI/d)'J X@}7 # Vt •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 QI U%!9Y •单击go！ $[ S 33Q •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Pv,PS.,- gY [G>D=
 2bLc57j{`9 }~=<7| N. 场追迹仿真 1%vE 7a>{ t( V 2 •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 9eq)WI/ •单击go！ ,mvFeo;@f E;4B!"Q8  H_ 3Wx fO
h lc!}{$%8 场追迹仿真（相机探测器） CQ< d iG"v •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 !KJ X$? •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 xi.?@Lff o6|-
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 l l*g *zt3 M,p0wsj; 场追迹仿真（电磁场探测器） jg'"?KSU~ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 B8T5?bl q GR1$\]  0%,W5w
/O$~)2^h 场追迹仿真（电磁场探测器） T,a{mi.hNR
42hG }Gt •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 PWvT C`? ws,?ImA
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