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摘要 6/!:vsa"3 &Vj @){ 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ,7nu;fOT[
,~L*N*ML
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= |K!
-J]?M 建模任务 /cS8@ )e4 &0 QUObK  .M6. ]H 概述 Z@Rqm:e G > ~/ •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 `n+uA ~ •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 m?-)SA .]9`eGVWj
 9WHE4'Sa 1@ Ba7>%' 光线追迹仿真 jLFaf# G] VnuG^)S •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 -O} )Y>=} •单击go！
\^1^|a" •获得了3D光线追迹结果。 zkt~ [-jm} N\|B06X
 #m#IBRD : DzC`yWstP 光线追迹仿真 jS,Pu%f R U& GPede •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 8hV]t'/; •单击go！ CfOyHhhKX •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 m.P
F'_)/ b'( AVA
 Tp ;W ~U+<JC Z 场追迹仿真 6I[*p0j5 =u0=)\0@r •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 dC <%D'L* •单击go！ I/'>MDB! + s}!+I8 P  28JVW3&)
*wAX&+); 场追迹仿真（相机探测器） H:b"Vd"x9 yXkQ
,y •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 (,"%fc7<i •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 xK8m\=# zGe =l;
 hz bvR~rn d% @0xsU1 场追迹仿真（电磁场探测器） \ ;%D;3Au •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 j gV^{8qG eDo4>k"5  6oKlr,.
4FneP i~i 场追迹仿真（电磁场探测器） lBn<\Y!^
@MQfeM-@ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 OL=X&Vaf< kFJ]F |^7
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