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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-24
    摘要 %G~%:uJ5  
    3^AS8%qG  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ~E7=c3:"  
    `\S~;O  
    + f?xVW<h  
     L_7-y92<W  
    建模任务 ~7=w,+  
    V|dKKb[Lve  
    = P {]3K  
    概述 W?auY_+P  
    <^jW  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ='r4z z  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 [kq+a] q  
    %"RgW\s[R  
     Wj. _{  
    !ly]{DTmm  
    光线追迹仿真 $f<Rj/`&  
    Fop "m/  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 uU00ZPS*G[  
    •单击go！ 7J2i /m  
    •获得了3D光线追迹结果。 CpICb9w  
    ;H8A"$%n~  
     MA:8g D  
    Lv ,Ls  
    光线追迹仿真 |+i?FYA\  
    )zVD!eG_9  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ojd/%@+u+Y  
    •单击go！ # S4{,  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 iPJZ%  
    L$FLQyDR  
     cB7=4:U  
    8aD4 wc  
    场追迹仿真 O-vvFl#4  
    5 lC"10  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ~?{@0,$  
    •单击go！ TNV#   
    O<h`[1eUjS  
    hzc2c.gcF  
     4o2 C=?@(  
    场追迹仿真（相机探测器） ? <slB>8  
    Re b^w,  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 rT ~qoA\  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 G}\E{VvWh  
     g=:C/>g  
     IXf@YV  
    @Tr8.4  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 3u8HF-  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 o^},L?  
    A_@#V)D2  
    p_ QL{gn  
     7@Qz  
    场追迹仿真（电磁场探测器） fF8g3|p:  
     eW+z@\d9Gz  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 F/}PN1#T  
    M(S:&GOU  
     =2{^qvP  
     
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