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摘要 Sz.jv#Y 5NZob<< 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 oZA?}#DRl
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3<AZ,gF1 建模任务 N ;9@-Tb d@8=%x:  Z1wN+Y.CA 概述 "nf.kj:> [2a *TI •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 @K7#}7,t •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 q1;}~}W;z4 0-oR
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 I;S[Ft8d tq8B)<(] 光线追迹仿真 $21+6 X@*$3z#Z •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Z}5 ;K"T/ •单击go！ xVao3+r •获得了3D光线追迹结果。 \`- /\N 8&7LF
 QU2 \gAM ;3 s_#L 光线追迹仿真 D K}k||- @V
Bv}Jo •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Qv,8tdx •单击go！ qrsPY d •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ZqsI\"bj 2M3.xUS
 (f,D$mX k-@CcrepF 场追迹仿真 \A zl6`Em ]rO`e N[~U •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ( 30{:o&^ •单击go！ UN>!#Ji:$ OW<i "?0  {'4h.PB+r
0K <@?cI 场追迹仿真（相机探测器） %3M(!X:[ E)DdiB'Rh •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 T^x7w+ •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ~+d?d6*c f^@`[MJj1C
 (D]l /akP yd 2v _ 场追迹仿真（电磁场探测器） 6q RZ#MC •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 JEL =,0J 6TvlK*<r=  ?vuM'UH-
,R5NKWo 场追迹仿真（电磁场探测器） *
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]X?~Cz/wl •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 8;mn7 XX qcEi J}-
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