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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-24
    摘要 RM|<(kq  
    _1VtVfiZ{  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Mmq{]q~At  
    X8~ cWW  
    =1!wep"  
     O{y2tz3  
    建模任务 -4m UGh1dy  
    x\)0+c~\}x  
    /lCn^E6-  
    概述 rQC{"hS1  
    hub1rY|No  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 g<-x"$(C&  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 hR Y *WL  
    ~M6Q8Y9  
     =5a~xlBjD  
    x>8=CiUE  
    光线追迹仿真 MM"{ehd{^a  
    ExqI=k`Zs  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 zjs@7LN  
    •单击go！  =P\H}?PF  
    •获得了3D光线追迹结果。 AfpB=3  
    +e. bO5Y  
     IKb 7#Ut  
    ^n"ve2   
    光线追迹仿真 r3<yG"J86  
    ~Aq;g$IJZ  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 |d?0ZA:z  
    •单击go！ ,~w)~fMb8  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 :(VD<"X  
    HA&][%^  
     ymT&[+V  
    a]|P rjPI  
    场追迹仿真 C s?kZ %  
    @5K/z<p%  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 3N|,c]|  
    •单击go！ W2J"W=:z  
    BY.' 0,H=k  
    r5t C  
     rIR~YMv!  
    场追迹仿真（相机探测器） 7 [N1Vr(1  
    \74+ cN  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 /\"=egB9  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 cd)yj&:?Bt  
    6":=p:PT.  
     );$_|]#  
    f8'D{OP"G  
    场追迹仿真（电磁场探测器） BFc=GiPnQ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 'kPc`) \  
    73OFFKbsk  
    C vfm ,BL  
     ^5x\cR  
    场追迹仿真（电磁场探测器） HWG5Ghu8,)  
     `6koQZm  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Z%Q[W}iD  
    6 6WAD$8$  
     ?NoG.  
     
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