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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-24
    摘要 {dZ8;Fy4  
    lIy/;hIc  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 n^Au*'  
    CI1m5g [P  
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     ?HxS)Pqq  
    建模任务 ]EX--d<_`  
    H5^Y->  
    @5*xw1B  
    概述 "w1(g=n  
    %~(~W>^A  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Y=WR6!{  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 g&aT!%QvX+  
    }-@I#9  
     - coy@S=.'  
    =[8d@d\  
    光线追迹仿真 iDvpXn  
    ^AH-+#5  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 R^?PAHE 7  
    •单击go！ "] 9_Fv  
    •获得了3D光线追迹结果。 'v`~(9'Rcj  
    .i\wE@v  
     cl#OvQ  
    'XME?H:q a  
    光线追迹仿真 o9^$hDs,si  
    mc56L[  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ]LY^9eK)>{  
    •单击go！ QZ9M{Y/  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 a#6,#Q"  
    9M19 UP&  
     8Y]}Gb!  
    | )S{(#k  
    场追迹仿真 _/8y1) I  
    zh hGqz[K  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 <X9T-b"$h  
    •单击go！ D)RdOldr  
     2w;G4  
    CYMM*4#  
     AzW%+ LUD  
    场追迹仿真（相机探测器） 3Y=,r!F.h  
    sF, uIr/  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ?RqTbT@~  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 !4!S{#<q  
    Y~}QJ+`?  
     G0^V!0I&O  
    CJtr0M<U+  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Y# .6d  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 9O2a | d  
    R\i]O  
    HK=CP0H  
     sL;z"N@PK  
    场追迹仿真（电磁场探测器） eF*TLI<[^I  
     CiHn;-b;  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 CD$u=E ]  
    yg.\^C  
     QJniM"8v  
     
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