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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-24
    摘要 w)Wg 8  
    :Lh`Q"a  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ~ "stI   
    i+4!nf{K  
    BaXf=RsZ  
     `HV~.C  
    建模任务 D?`|`Mu  
    bO6LBSZx]  
    Q zq3{%^x_  
    概述 L)-1( e<x  
    Cs?[   
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 u[+/WFH  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 0.!!rq,  
    a@s@E  
     h-6zQs   
    /6Olq6V  
    光线追迹仿真 "e@?^J)  
    &KP JB"0L  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 L2`a| T=  
    •单击go！ F_z1ey`t  
    •获得了3D光线追迹结果。 3R)_'!R[B  
    ]mdO3P  
     CCp&+LRvR  
    \+VQoB/  
    光线追迹仿真 ^Y?Y5`! Q  
    GPLq$^AH  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 5sI9GC  
    •单击go！ rJUXIV>z  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 {/}p"(^  
    *e%(J$t  
     /& wA$h  
    XI7:y4M  
    场追迹仿真 1/<Z6 ?U  
    _t.Ub:  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 " 'TEBkj|u  
    •单击go！ ;'P<#hM[$  
    wLOS , =  
    tA{?-5  
     HsRQiai*  
    场追迹仿真（相机探测器） Xot2L{EIUE  
    ,Uu#41ZOKL  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 /6yH ,{(a  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Q5>]f/LD  
    %IH ra6  
     SJ).L.Cm6  
    ,;~@t:!c  
    场追迹仿真（电磁场探测器） t^SND{[WcM  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 `VD7VX,rp*  
    5~\GAjf  
    p}d+L{"V  
     -$tf`   
    场追迹仿真（电磁场探测器） ^zVW 3 Y q  
     W}rLHAaDh  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 'q, L*  
    /`VrV{\/!  
     "HrZv+{  
     
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