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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 11-24
    摘要 A|<;  
    = cfm=+  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 PW_`qP:  
    jXEGSn  
    ~4s-S3YzaM  
     U($^E}I2(  
    建模任务  a@|.;#FF  
    bNvAyKc-  
    <q7s`,rG  
    概述 - s|t^  
    h3J*1  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 umDtp\  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Js}tZ\+P75  
    -,>:DUN2  
     |t\KsW  
    \:sk9k  
    光线追迹仿真  nhfwOS  
    u ~71l)LA  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 }%{=].)L  
    •单击go！ Lr M}?9'  
    •获得了3D光线追迹结果。 1hNEkpL^a  
    5X;?I/9  
     ",ad7Y7i  
    }Z6nN)[|0Y  
    光线追迹仿真 ct\<;I(H  
    nx :)k-p_[  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 A;%kl`~iyz  
    •单击go！ -HTL5  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 -q(:%;  
    luF#OPC  
     zMU68vwM  
    {gIEZ{  
    场追迹仿真 sUda   
    ocP*\NR  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 wrK#lh2  
    •单击go！ RQ5P}A 3H  
    >'0lw+a  
    +GPd   
     nB}e1 /_y  
    场追迹仿真（相机探测器） X0x_+b? _  
    Qy%xL9  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 3qcpf:  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 9R:(^8P8  
    tD^a5qPh  
     (v|`LmV  
    6+#,=!hF{  
    场追迹仿真（电磁场探测器） % 9YA^ri  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7n>|D^  
    n@o  
    GsRt5?X/*  
     ]h!*T{:  
    场追迹仿真（电磁场探测器） F$C+R&V_  
     T;%+]:w<  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Vdy\4 nu(  
    &0h=4i=6r  
     ;l#?SYY  
     
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