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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 <,J O  
    A9z3SJ\vXl  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 fH% C&xj'&  
    Lv *USN  
    /$j,p E=  
     (Vt5@25JW  
    建模任务 ?&POVf>  
    .~|[* q\  
    Sb`SJ):x  
    概述 `* cJc6  
    @QDpw1;V'  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 F`.W 9H3  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 CH$* =3M  
    =27ZY Z  
     >bg{  
    G'Uq595'-  
    光线追迹仿真 Bd[H@oKru  
    X @X`,/{X  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 \<\147&)r  
    •单击go！ a)!R4  
    •获得了3D光线追迹结果。 jK2gc^"t  
    \# 1p  
      hAD gi^  
    #/)U0 IR)  
    光线追迹仿真 B XO,  
    ,n$HTWa@0  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 M+7jJ?n  
    •单击go！ u89Q2\z~"M  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 dDl_Pyg4K  
    35YDP|XZb  
     TIno"tc3  
    vSk1/  
    场追迹仿真 v5.KCc}"  
    $"3cN&  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 I3YSW  
    •单击go！ -90X^]  
    *?o 'sTH  
    R)%I9M,  
     m21H68y  
    场追迹仿真（相机探测器） (>gb9n  
    ,+FiP{`  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 y>ePCDR3  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 b3q&CJ4|  
    Tlk!6A:  
     2=X.$&a  
    I1JF2" {c  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ^h"@OEga?  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 HcHwvf6y  
     r^,"OM]  
    yRt7&,}zL  
     / &yc?Ui  
    场追迹仿真（电磁场探测器） iL'j9_w,  
     Om2w+yU  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 _hEr,IX=J  
    j_SUR)5  
     e,l-}=5* P  
    4C9k0]k2  
     
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