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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 <UBB&}R0  
    o,DI7sb  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 G FO(O  
    :~B'6b  
    & <Jvaf_=  
     OojQG  
    建模任务  u9,ZY >  
    N0']t Gh2  
    bcE%EQ  
    概述 Czt>?8x`  
    h&6t.2<e  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 =]hPX  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Tz2<# pLR  
    zoO9N oUHW  
     [iT#Pu5  
    6>; dJV  
    光线追迹仿真 CsW*E,|xyP  
    qC$h~Epp4  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ]2'{W]m  
    •单击go！ mp+lN:  
    •获得了3D光线追迹结果。 +]NPxUa  
    OA\ *)c+F  
     sXm,y$ \m  
    @qWes@  
    光线追迹仿真 `Pe WV[?  
    F!qt#Sw!\  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 aBx8wl*Vm  
    •单击go！ YF(TG]?6  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ]aVFWzey  
    c=A)_ZFg  
     VLfE3i4Vwl  
    6=xbi{m$  
    场追迹仿真 }Qo:;&"3  
    =lqBRut  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ,c_NXC^X?  
    •单击go！ 1%,AU  
    ^qD@qJ  
    )./'`Mx?  
     nkvkHh  
    场追迹仿真（相机探测器） X6lR?6u%|  
    FtL{ f=  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 %T:7I[f  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ^@0-E@ {c  
    0/Wo":R:  
     /\&Wk;u3  
    1Ev#[FOc  
    场追迹仿真（电磁场探测器） T2V# fYCc  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ".R5K ?  
    d 9n{jv|  
    Q #%C)7)  
     sTALOL<  
    场追迹仿真（电磁场探测器） yAt,XG3  
     A&~<qgBTp  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~J:"sUR  
    Ie%twc  
     \x_fP;ma=_  
    *l-(tp5  
     
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