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摘要 GAw(mH* */w7?QOv 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 DtWx r
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ZQAO"huk] 建模任务
R_1 qn ZIpD{ >/  D `pQ7 概述 2no$+4+z "_< 9PM1t •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 sWHyL(C@ •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 qs I^oBD" Z/<#n\>t0>
 ?^u^im OQp, 3 M{_ 光线追迹仿真 1u~ MXGF &gn-Wb? •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 l%~l z[ •单击go！ :et#0! •获得了3D光线追迹结果。 8#X_# _?`&JF ?*
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P7o4]:/ JoZ(_Jh%m 光线追迹仿真 Qz,|mo+ m%QSapV •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 E{y1S\7K •单击go！
>&U @ f •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 n2f6 p<8A .[:VSM7 T
 r37[)kJ G.\l qYrXU 场追迹仿真 F~HRME; Z 3mO; JXd •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ~ #PLAP3- •单击go！ h
Dk)Qg !eI2 r  bT )]'(Xy
sy/nESZs 场追迹仿真（相机探测器） 5~H#(d<oZ V'DA[{\* •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Lrd[O v •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 mi,&0xDe a G[,Q95`w?<
 H8{ol6wc)6 n,$z> 场追迹仿真（电磁场探测器） By)u-)g9 •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 o}$1Ay*q` |[ $~\MU  LWf qEL
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