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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 q'DW~!>qX  
    ^ y::jK  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 !Ee:o"jG{  
    x4 yR8n(  
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    建模任务 +nL[MSw  
    uph(V  
    ]`K2 N  
    概述 2 nCA<&  
    E fDH6  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 u[YGm:}  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 %Zi} MPx  
    +rd+0 `}C  
     # ] QZ  
    0;k# *#w  
    光线追迹仿真 cr3^6HB  
    <YY14p  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 {mg2pfhB!  
    •单击go！ b;n[mk  
    •获得了3D光线追迹结果。 ! mHO$bQ"  
    >A= f 1DF  
     vzM ^$V  
    C_Dn{  
    光线追迹仿真 wT@og|M  
    pP_LR ks}  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Cy e.gsCT  
    •单击go！ 6Oq 7#3]  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ~ }P,.QQ  
    Hka2  
     mt .sucT  
    s AkdMo  
    场追迹仿真 g#bRT*,L  
    iTwm3V P  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 !g[Zfo2r"  
    •单击go！ 'DR!9De  
    LoV<:|GTI  
    x:Y1P:  
     wMn i  
    场追迹仿真（相机探测器） A^g(k5M*  
    6m93puY`7  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 F8=+j_UGI  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 LVGe]lD  
    s;e\ pt  
     @{Q4^'K"  
    /: "1Z]@  
    场追迹仿真（电磁场探测器） f|5co>Hk  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 IxU/?Zm  
    )7F/O3Tq  
    dV_G1'  
     W\3X=@|u)  
    场追迹仿真（电磁场探测器） sC'` ~}C  
     lxx2H1([  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 0J9x9j`&j  
    $4LzcwG  
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    HJ"GnZp<  
     
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