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摘要 c/:b.>W S){)Z 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 /}((l%U E.
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zv|2:4H 建模任务 cb@?}(aFl *1ilkmL%  fnpYT:%fG
概述 M f}~{+ 0 3L] •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 I
)~GZ •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 w0[6t#$F >Ifr [
 ZAW^/bo< B~ ?*?Z' 光线追迹仿真 dhC$W!N7! Ka'=o?'B5 •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 I!ED?n •单击go！ raW>xOivR •获得了3D光线追迹结果。 W 6^5YH% loEPr5 bL
 ?3/qz(bM ]N/=Dd+| 光线追迹仿真 vRznw&^E 2\)xpOj •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 `oAW7q)~ •单击go！ ?L x24*5% •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 @Y?#Sl* , xw#NG6
 x/%aM1"X^ FK^p")i 场追迹仿真 m1j*mtu M5i%jZ k •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 OP;v bZ •单击go！ fPU`/6 a f6M,{F  i9rN 9Mq?O
&]Q@7Nl7:l 场追迹仿真（相机探测器） E}%B;"b/Tj x" 7H5< •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 0}< |7? •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 R%Hi+#/dr- K>
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 adlV!k7RG oxr#7Ei0d 场追迹仿真（电磁场探测器） [RS|gem` •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 SbcS]H5Sk ( |F*vP'  D,FHZD t
*$#W]bO 场追迹仿真（电磁场探测器） +| *IZ :w)
[]D&bYpv •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 XYQ /^SI!: Qo>b*Ku;
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