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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 d}=p-s.GA  
    zR .MXr  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 v8X&H  
    xl9l>k6,  
    ]d[q:N]z  
     M`<D Z<:<  
    建模任务 j;y|Ys)I  
    !^7:Rr _  
    ;F+%{LgKl  
    概述 :U*[s$  
    xn@jL;+<-  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 J91`wA&r  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 4mAtYm  
    Xm4wuX"e=  
     8vRiVJ8QS:  
    meL'toaJdQ  
    光线追迹仿真 4[ra  
    QEgv,J{  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 8tL61x{]  
    •单击go！ /LD*8 a  
    •获得了3D光线追迹结果。 R3PhKdQ"  
    CQ`(,F3(  
     e&5K]W0{  
    ?*@h]4+k'  
    光线追迹仿真 5Z[ D(z  
    qcot T\rq  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 1fy{@j(W  
    •单击go！ Esjv^* v9-  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 v(^rq  
    ts]7 + 6V  
     [jw o D  
    8z CAy@u  
    场追迹仿真 FCWphpz  
    Cg Sdyg@  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ,fw[J  
    •单击go！ jveRiW@  
    %awS*  
    *LRGfk+h  
     q T].,?  
    场追迹仿真（相机探测器） D'h2 DP!  
    IMZKlU3  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 @_Zx'mTI  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 &J b.OCf  
    ~30Wb9eL  
     zEW:Xe)  
    M\&~Dmd  
    场追迹仿真（电磁场探测器） )rj mJ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 @nP}q!y  
    }WbN)  
    =oME~oB~  
     arP+(1U  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 1Q5<6*QL"  
     (UZ*36@PJx  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 l8-jFeeMd  
    ~@8d[Tb  
     -G;1U  
    {nefS\#{  
     
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