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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 b8.%?_?  
    O->eg  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Z0eBx  
    *Zi%Q[0Me  
    9|?Lz  
     i)L:VkN  
    建模任务 CFm1c1%Hg  
     |{)xC=  
    io{H$  x(  
    概述 2<G1'7)  
    <83gn :$  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 9.zQ<k2  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ig}e@]  
    1Wk EPj,  
     A{I a21T7  
    yim$y, =d  
    光线追迹仿真 ms7 7{A3  
    em [F|  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ph?0I: eU  
    •单击go！ y,?G75wij  
    •获得了3D光线追迹结果。 ky[Xf -9#  
    ,/6:bc:W  
     2A}uqaF  
    $p3Wjf:bH  
    光线追迹仿真 TucAs 0-bF  
    B21AcE  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ^D;D8A.  
    •单击go！ KVM@//:{  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 rz }l<t~H  
    |3:=qpT-  
     iW@Vw{|i I  
    g#b u_E61B  
    场追迹仿真 bo;pj$eR3R  
    sV^h#g~Zb  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ^i+ z_%V  
    •单击go！ wUCDJY:,1  
    Z4AAg  
    bsi q9$F  
     DIqT>HHZ  
    场追迹仿真（相机探测器） aE\BAbD7  
    bepYeT  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 QHzX 5$IM  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 k,R~oSA'n  
    *_<*bhR<  
     DV[ Jbl:)  
    {9Mdt`WL  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 2v9s@k/k)6  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 :.S41S   
    H'0*CiHes  
    g<iwxF  
     ZC5Yve8  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 0"^oTmQN  
     an=+6lIl  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 5Vqmv<F;$Z  
    Q)6wkY+!  
     wEfz2Eq  
    5'kTe=  
     
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