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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 !2.BLJE>  
    1J"9Y81   
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 /Yp#`}Ii  
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    建模任务 }q@#M8b  
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    概述 lJ-PW\P  
    Y PI)^ }  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 iOURS  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 I_v}}h{  
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     B+`4UfB]Z}  
    A)sYde(  
    光线追迹仿真 WV$CZgL  
    lUs$I{2_  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 IB[$~sGe  
    •单击go！ 1B2#uhT]r  
    •获得了3D光线追迹结果。 Z)W8Of_  
    X>o9mW  
     K'r;#I|"J  
    Vz/w.%_g  
    光线追迹仿真 -  /\qGI  
    "g ^i%  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 L/tn;0  
    •单击go！ ^-~JkW'z  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 v{a%TA9-  
    KN|<yF   
     f+ceL'fr  
    6^] |  
    场追迹仿真 D:/ n2_  
    . |T=T0^  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ):! =XhQ  
    •单击go！ ~Xxmj!nOf  
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    1^WGJ"1  
     =WY'n l'  
    场追迹仿真（相机探测器） 29RP$$gR  
    p5fr}#en  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 #_ |B6!D!  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 4@?0wV  
    H>EM3cFU  
     ~U]g;u  
    l:V R8g[  
    场追迹仿真（电磁场探测器）  lln"c  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Sf,z  
    tbRW6  
     l!|c_  
     !'jq.RawP  
    场追迹仿真（电磁场探测器） CjQO5  
     ?J\&yJ_B  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 MuY:(zC%  
    =#G 2}8mQD  
     ^ F]hW  
    u-TT;k'  
     
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