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摘要 d}=p-s.GA zR
.MXr 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 v8 X&H xl9l>k6,
]d[q:N]z M`<D Z<:< 建模任务 j;y|Ys)I !^7:Rr_ ;F+%{LgKl 概述 :U*[s$ xn@jL;+<- •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 J91`wA&r •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 4mAtYm Xm4wuX"e=
8vRiVJ8QS: meL'toaJdQ 光线追迹仿真
4[ra QE gv,J{ •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 8tL61x{] •单击go! /LD*8 a •获得了3D光线追迹结果。 R3PhKdQ" CQ`(,F3(
e&5K]W0{ ?*@h]4+k' 光线追迹仿真 5Z[D(z qcot
T\rq •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 1fy{@j(W •单击go! Esjv^* v9- •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 v(^rq ts]7 + 6V
[jw o D 8zCAy@u 场追迹仿真 FCWphpz Cg
Sdyg@ •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ,fw[ J •单击go! jveRiW@ %awS* *LRGfk+h q T].,? 场追迹仿真(相机探测器) D'h2 DP! IMZKlU3 •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 @_Zx'mTI •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 &J b.OCf ~30Wb9eL
zEW:Xe) M\&~ Dmd 场追迹仿真(电磁场探测器) )rj mJ •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 @nP}q!y }WbN) =oME~oB~ arP+(1U 场追迹仿真(电磁场探测器) 1Q5<6*QL" (UZ*36@PJx •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 l8-jFeeMd ~@8d[Tb
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