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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 L{{CAB!  
    d=*x#In  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 {jKI^aC<[  
    QfjN"25_  
    R=j% S!  
     F'm(8/A$  
    建模任务 yl&UM qI(  
    cQj-+Tmu  
    e( X|3h|  
    概述 ,YYVj{~2  
    |`d0^(X  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 v;1F[?@3Y  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 q%YV$$c   
    XL}"1lE  
     C(T;>if0NH  
    dP2irC%f8  
    光线追迹仿真 e 8\;t"D  
    Ard]147  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 G bP!9I  
    •单击go！ "Dcs])7Q  
    •获得了3D光线追迹结果。 E6B!+s!]  
    Lv[OUW#S  
     Y5q3T`x E  
    0IkM  
    光线追迹仿真 :aLT0q!K  
    ^L4Qbc(vJ  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 >x1p%^cA;=  
    •单击go！ Z)9g~g94  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 nz.{P@[Qk  
    /$N~O1"0)  
     SO\/-]9#  
    07g':QU@  
    场追迹仿真 V%0I%\0Y  
    az;Q"V'6  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Sw&!y$ed  
    •单击go！ ,Tagj`@bHc  
    <+j)P4O4  
    {:nQl}  
     LjFqZrH  
    场追迹仿真（相机探测器） U:6W+p8  
    @wmi 5oExc  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 E\ 8  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Q;Wj?8}  
    }ArpPU :]  
     2aA`f7  
    lfsqC};#\  
    场追迹仿真（电磁场探测器） C Wo1.pVw  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 qZEoiNH(Tj  
    DaHZ{T8>d  
    -D^A:}$  
     8e~|.wOL  
    场追迹仿真（电磁场探测器） h&3YGCl  
     o\otgyoh  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 W=B"Q qL  
    2?C`4AR[2H  
     \vfBrN  
    6(|d|Si *c  
     
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