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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 3小时前
    摘要 ak 94"<p  
    v_3r8My-  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ~L)9XK^15  
    `h*)PitRa  
    WI/&r5rq   
     Squ'd  
    建模任务 Q%o:*(x[O  
    oswS<t{Z  
    AC;ja$A#  
    概述 T$RVz   
    PzbLbH8A  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。  u;R<  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 H3"90^|,@  
    |dcRDOTe  
     |B yw]\3v  
    r8x<- u4  
    光线追迹仿真 ^iAOz-H  
    6K501!70g6  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 8R<2I1xn2  
    •单击go！ 't'~p#$,F  
    •获得了3D光线追迹结果。 V+myGsr`  
    Q^}6GS$  
     xp<\7m_N  
    D=uU:7m  
    光线追迹仿真 $Tci_(V=F  
    oKjQ? 4  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ?*lpu  
    •单击go！ zXWf($^&E  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 !?!~8J~  
    J%]< /J  
     OIP JN8V  
    ?hu}wl)  
    场追迹仿真 QS.t_5<U  
    X/Umfci  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 =g)|g+[H  
    •单击go！ |t](4  
    g*t(%;_m  
    ig|o l*~  
     J<J_yRg2  
    场追迹仿真（相机探测器） S-@E  
    g*]Gc%  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 5H8]N#Y&  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 y!JZWq%=  
    sswYwU  
     GR6BpV7  
    6bj.z  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 4E\Jk5co,  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 {Yp>h5nwM_  
    :rr;9nMR[  
    G1K72M}CW  
     \H <k  
    场追迹仿真（电磁场探测器） cZ>h[XX[  
     DLMM1 A  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 mc37Y.  
    lU6?p")F1  
     Wc] L43u  
     n *Y+y  
     
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