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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 4rU/2}. q  
    @@AL@.*  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ~[HzGm%  
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    <E2 IU~e  
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    建模任务 \baY+,Dr+  
    3YHEH\60^  
    lL}NiN-)t  
    概述  >Uw:cq  
    iH8we,s'  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 cUY-  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 jH< #)R  
    KqK]R6>  
     ;P91'B~t  
    .d<K`.O ;  
    光线追迹仿真 [Fl_R[o  
    .nPOjwEx&Y  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 lq-KM8j  
    •单击go！ }u_D{bz  
    •获得了3D光线追迹结果。 A NhqS  
    32wtN8kx  
     @G4Z  
    g-eJan&]N  
    光线追迹仿真 'H5 30Y\  
    ;z'&$#pA  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 fx;rMGa  
    •单击go！ hY`<J]-'`  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ~/L:$  
    S%iK);  
     =\<NTu  
    6u, g  
    场追迹仿真 8,U~ p<Gz  
    y\T$) XGV  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ZC?~RXL(  
    •单击go！ +F)EGB%LXs  
    EpS/"adI-!  
    0>28o.  
     #Zdh<.   
    场追迹仿真（相机探测器） GHsDZ(d3.  
    cXq9k!I%  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 90vWqL!  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 %Psg53N  
    C~&E7w  
     ~O}r<PQ  
    hIV9.{J  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Ca~8cQ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Wd'}YbC  
    7h\is  
    2xNR=u`  
     In?rQiD9  
    场追迹仿真（电磁场探测器） MSCH6R"5  
     2+&;jgBP  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 xm{?h,U,  
    JN8Rh  
     nE]rPRU}[  
    HhynU/36  
     
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