切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 309阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6952
    光币
    28910
    光券
    0
    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 x xWnB  
    ND77(I$3s  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 a~jM^b;VN  
    @#xh)"}  
    w|7<y8#qC  
     n]jZ2{g+   
    建模任务 k%Jv%m}aB  
    y ~7]9?T  
    ^^1rjh1I  
    概述 r&U5w^p  
    g4^=Q'j-  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 A@^Y2:pY  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 x8+W9i0[1  
    V*U{q%p(  
     .-Yhpw>f  
    fO|oV0Rw  
    光线追迹仿真 kdcr*7w  
    UsP1bh4  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Wz',>&a  
    •单击go！ Zl^#U c"  
    •获得了3D光线追迹结果。 4Hc+F(  
    /{QR:8}-Q  
     Z:j6AF3;  
    . Lbu[  
    光线追迹仿真 kqdF)Wa am  
    8K$q6V%#  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 gJz~~g'  
    •单击go！ 8&+m5x S  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 LX5, _`B  
    OFH!z{*  
     0<(F 8  
    V 3?x_pp  
    场追迹仿真 K)=<hL  
    h' #C$i  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 %\<SSp^n  
    •单击go！ 4AA3D!$  
    &Cv0oi&B  
    Qv4g#jX{  
     [ed6n@/O@  
    场追迹仿真（相机探测器） xd }g1c  
    8Evon&G59  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 x"7`,W  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 :jo !Yi  
    <? h`  
     KicPW}_  
    JzI/kH~  
    场追迹仿真（电磁场探测器） y{{7)G  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ,j^z];  
    ?2LRMh")$  
    5^:N]Mp"  
     0{0BL@H  
    场追迹仿真（电磁场探测器） +eT1/x0  
     [(Jj@HlP6T  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (x"TM),Q  
    tw{V7r~n  
     'a1%`rzm  
    Rd#V,[d  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表