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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 & &}_[{fc  
    ]\M{Abqd{  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 C7%R2>}?f  
    c]9gf\WW  
    Q#p)?:o/  
     %> XsKXj  
    建模任务 #p(gB)o:l  
    *?m)VvR>|  
    ,%9XG077  
    概述 {"wF;*U.V  
    <X8Urum  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 }3*<sxw7<  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 jW:7PS  
    /]U$OP*0  
     ]KFh 1  
    @8W@I|  
    光线追迹仿真 v<1@"9EH  
    |P5dv>tb F  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 !4p{ b f  
    •单击go！ @D9O<x  
    •获得了3D光线追迹结果。 M XG>|  
    pf8'xdExH)  
     @)b'3~ D  
    \Tz|COG5h\  
    光线追迹仿真 ='"Yj  
    c^W;p2^  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ]t 0o%w  
    •单击go！ u#ya 8  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 8-G )lyfj  
    =zn'0g, J4  
     gN/!w:  
    Y][12{I{  
    场追迹仿真 VD.TosVeWo  
    VN)WBv  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 gclj:7U  
    •单击go！ u$JAjA  
    sV"tN2W@  
    4u5j 7`O  
     C1-U2@  
    场追迹仿真（相机探测器） }%XB*pzQ  
    29:2Xu i  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。  hlVC+%8  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ' #K@%P  
    "W5MZ  
     VESvCei  
    = o(}=T>:"  
    场追迹仿真（电磁场探测器） W1)SgiXnuy  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 QbdXt%gZe  
    URVW5c  
    'pA%lc)  
     :3M ,]W]  
    场追迹仿真（电磁场探测器） j"jssbu}  
     ewcFzlA@  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 e,OXngC  
    :Ou~?q%X  
     O+-+=W  
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