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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 9y+0Zj+.  
    8yDe{  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ;V0^uB.z  
    xQ,My  
    \)`OEGdOR\  
     urhOvC$a  
    建模任务 =n<Lbl(7  
    #1De#uZ  
    Q].p/-[(  
    概述 |R&cQKaQ`  
    wQ9?Z.-$  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 A9_} RJ9  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 l0w<NZ F  
    %zz,qs)Eu  
     ZA+w7S3  
    Fs(FI\^  
    光线追迹仿真 BIh^b?:zU  
    vzFo"  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 p?2^JJpUb  
    •单击go！ = 6'Fm$R  
    •获得了3D光线追迹结果。 8I[=iU7]l  
    SA?lDRF  
     bRD-[)  
    @1N .;]|  
    光线追迹仿真 es^@C9qt  
    $f?GD<}?7r  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 &u2H^ j  
    •单击go！ Z`<5SHQd  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 .XT]\'vW  
    UvR.?js(O  
     Z 4QL&?U  
    qV0GpVJZU?  
    场追迹仿真 *#9?9SYSk  
    ^r~O*  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 5.$/]2VK  
    •单击go！ zY9CoadZ  
    f?$yxMw:@  
    -AN5LE9-  
     H<3:1*E  
    场追迹仿真（相机探测器） V|G*9^Y  
    21O@yNpS$  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 )#8}xAjV  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 D-FT3Culw  
    >n3ig~0d  
     "U!Vdt2vp  
    g/frg(KF  
    场追迹仿真（电磁场探测器） D#P]tt.Z   
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 tA]u=-_h  
    0avtfQ +f  
    + }$(j#h  
     &NOCRabc  
    场追迹仿真（电磁场探测器） >0_{80bdO  
      ~)F_FS  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7K ~)7U  
    *{,}pK2*  
     PhAD: A  
    ]ddH>y&o  
     
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