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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 0uIY6e0E  
    cz,QP'g  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 *ma w`1  
    *d jLf.I@  
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     Gn=b_!  
    建模任务 _\KFMe= PV  
    )M.s<Y  
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    概述 X+ITW#  
    >({qgzV`  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 -'g> i  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 dkz% Y]  
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     \894 Jqh  
    a51e~mg Z`  
    光线追迹仿真 'o6}g p)  
    72d|Jbd  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 S?d<P  
    •单击go！ 0t? o6 e  
    •获得了3D光线追迹结果。 o *J*} y  
    l<w7 \a6  
     'KA$^  
    T/g\v?>  
    光线追迹仿真 ?)|}gr  
    {6H[[7i  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 3T8d?%.l  
    •单击go！ ~jL%l  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 {lWVH  
    ;Y\LsmZ;F  
     EjLq&QR.  
    VIz(@  
    场追迹仿真 -y-}g[`  
    3/`BK{  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 gSwV:hm  
    •单击go！ e&;e<6l&{  
    04-_ K  
    G<e+sDQ2  
     BDI@h%tJb:  
    场追迹仿真（相机探测器） AOZ C D{  
    3_)I&RM  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 xT"V9t[f  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ?YW~7zG  
    `.MZ,Xhqi"  
     rNq* z,  
    0~fjY^(  
    场追迹仿真（电磁场探测器） p qz~9y~  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 zbxW U]<S?  
    QEs$9a5TE  
    P:'wSE91  
     ByY2KJ7  
    场追迹仿真（电磁场探测器） h.X4x2(.  
     {!|4JquE_  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 fB3Jp~$  
    P`lv_oV  
     f\hMTebma$  
    3:x(2 A  
     
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