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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 11-19
    摘要 /mK?E5H'r1  
    eEn;!RS)  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ty DM'|p  
    <dvy"Dx   
    ?K3(D;5 &i  
     leQT-l2Bk  
    建模任务 ,yTjU{<"  
    $]q8, N|1  
    =lu/9 i6  
    概述 d`/tE?Gw  
    is@b&V]  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 _{ZqO;[u  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 \2vg{  
    lbuAE%  
     ~D|5u\D-  
    A|@_}h"WG  
    光线追迹仿真 m-jHze`D3  
    (X?/"lC)  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 +d%L\^?F  
    •单击go！ +L5\;  
    •获得了3D光线追迹结果。 o,P.& m{?  
    W mm4hkf  
     HdLH2+|P;D  
    BY]i;GVq  
    光线追迹仿真 xrN &N_K#  
    ''kS*3  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 41_SRh7N  
    •单击go！ RAp=s  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 "hQ_sgz[Z  
    ;q1A*f\:#  
     ":nQgV\ 9  
    <u=4*:QE  
    场追迹仿真 NVl [kw  
    0Ld@H)  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 !L95^g   
    •单击go！ ]K*8O <  
    @l0|*lo%  
    #"49fMi/  
     /By)"  
    场追迹仿真（相机探测器） 8O"U 0  
    -$,%f?  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 /QEiMrz@6  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 C -?!S  
    5~yNqC  
     8j4z{+'TQ  
    @+WQ ^  
    场追迹仿真（电磁场探测器） L.=w?%:H=  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Gxa x2o  
    @p|$/Z%R,  
    A?*o0I  
     ZY56\qcY  
    场追迹仿真（电磁场探测器） X.TI>90{  
     =-o'gL  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 EbZdas!l  
    wI5Yn h  
     uZi.HG{<)  
    &ciN@nJ|$z  
     
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