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摘要 P$O@G$n q|lP?-j 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 O#^qd0e'P!
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su60j^e* 建模任务 :-2sKD y ,F'y :px  ][\ uH| 概述 `]&'yt z`J-J*R>d •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 tnX W7ej ^ •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
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5!Y#$:{o 光线追迹仿真 Tz(Dhb, ]V N1Y) •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 wC<FF2T •单击go！ ~ayU\4B •获得了3D光线追迹结果。 Ej@N}r>X .?F`H[^)^u
 fhHTp_u)2 esv<b>`R 光线追迹仿真 `Z`o[]% @nj`T{*. •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 CS xB)- •单击go！ 1 x0)mt3 •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 O 4W 2X@ n>lQ:l~
 @<1T&X{Z! b Olb 场追迹仿真 8?o{{ay U<yKC8 •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 NC x )zJ\S •单击go！ F xX nX Pv$O=N6-  ,ce$y4% (
Nm0|U.< 场追迹仿真（相机探测器） cn
;2& jdD`C`w|, •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 T,4REbm^ •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 rIj B{X{Z WODgG@w
 )5U7 w ;uU 8$ 场追迹仿真（电磁场探测器） ];Bk|xJ/> •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 s.!gsCQme M`G#cEc  a&`Lfw"
_4t 场追迹仿真（电磁场探测器） i~*#z&4A+
DB+ .< •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 \z=!It]f. ^<e(3S:
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