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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 u9N?B* &{  
    _GI [SzD  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 :9_K@f?n  
    }\*dD2qNL}  
    XH1so1h  
     xfos>|0N  
    建模任务 O0WzDD  
    67/hhO  
    ,yAvLY5 P  
    概述 M\e%GJ0  
    /<zBcpVNV  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 m#grtmyMrI  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 r,[vXxMy(;  
    6LNm>O  
     7 82NiVed  
    k{y@&QNj  
    光线追迹仿真 ToDNBt.u{+  
    P[#V{%f*5  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Zhz.8W  
    •单击go！ Zo-s_6uC  
    •获得了3D光线追迹结果。 /_ o1b_1 U  
    r}D`15IHJ  
      ]c[80F-  
    S"5</*  
    光线追迹仿真 <y-KW WE  
    G80d!*7  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 3$(1LN  
    •单击go！ amlE5GK;  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 M!!W>A@T[g  
    t+q:8HNh  
     S-.!BQ@RMZ  
    NrNbNFfo  
    场追迹仿真 NnrX64|0  
    pY ceMZ$  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 /G G QO$'  
    •单击go！ @e$z Ej5  
    lwQI 9U[O2  
    $N+a4  
     LPO3B W  
    场追迹仿真（相机探测器） H.|FEV@  
    (!W:-|[K\  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 _4xX}Z;  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 J@p[v3W  
    %I&Hx<H j  
     Tj<W4+p{  
    `<b 3e(A  
    场追迹仿真（电磁场探测器） M:Xswwq  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |a3)U%rUEQ  
    pWwaN4  
    D!TS/J1S;u  
     ]\ sBl  
    场追迹仿真（电磁场探测器） oizD:|  
     T$0//7$')  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 6@ ToPbj4  
    6b6}HO  
     7W5FHZd'  
    6_^ u}me  
     
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