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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 5小时前
    摘要 ~*|0yPFg  
    %|l^oC+E  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 -?A,N,nnX  
    g4BEo'  
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    建模任务 H!y%FaTi  
    R "S,&  
    Wx;`=9  
    概述 ;:nO5VFOg  
    SArSi6vF  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 SBnwlM"AN  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 RcUKe,  
    lNcXBtwK@#  
     1M|DaAI  
    \($EYhx  
    光线追迹仿真 p}qNw`  
    F2 /-Wk@  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 b(lC7Xm  
    •单击go！ WXqrx*?*+  
    •获得了3D光线追迹结果。 #tyHjk  
    *5DOTWos  
     $7{|  
    7l"N%e  
    光线追迹仿真 Cd:ofv/3  
    H7 acT  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 E>j*m}b  
    •单击go！ 6e1/h@p\7  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 'Ldlo+*|5  
    T&_!AjH  
     hjB G`S#  
    2QUZAV\ Y  
    场追迹仿真 iyw "|+  
    Is~bA_- ;  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 @\,WJmW  
    •单击go！ q' };.tv  
    mOj6 4}_`"  
    ='1J&w~7  
     Gld|w=qr  
    场追迹仿真（相机探测器） =W1`FbR  
    T<*i($ [  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ;eznONNF  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 [TiOh'  
    k^3|A3A  
     rA9BY :N@  
    YYDLFt r2  
    场追迹仿真（电磁场探测器） {K-]nh/  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。  k~#F@_  
    FL 5u68  
    H R$\jJ  
     z= pb<Y@X  
    场追迹仿真（电磁场探测器） j_PICv*6  
     HH[b1z2D  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 "x&hBJ  
    &(h~{  
     ,fQc0gM=[  
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