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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 /9 3M*b  
    6=kEyJT'  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 6d:zb;Iz  
    CZ8KEBl  
    p}&#jE  
     P)"noG_'i  
    建模任务 {vs uPY  
    ky8_UnaO  
    }~2LW" 1'  
    概述 @efh{  
    9y6-/H ,  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 "7U4'Y:E  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ) g0%{dfJ  
    uOKCAqYa  
     #akpXdXs  
    FSP+?((  
    光线追迹仿真 w2Us!<x  
    :1^LsLr5  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 5]~'_V  
    •单击go！ 2uz W+D6J  
    •获得了3D光线追迹结果。 ~3^ 8>d/  
    R$v[!A+:'  
     i1UiNJh86  
    !NIhx109q  
    光线追迹仿真 S O4u9V  
    imo$-}A  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 <qtr   
    •单击go！ 9 eR-  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ?:pP8/y  
    l~1Oef#y  
     EH$1fvE  
    Ut*`:]la  
    场追迹仿真 ,bXe<L)  
    H=@}=aPf  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 x%s-+&  
    •单击go！ fA&k`L(y  
    iyA'#bE-  
    hmvfw:Nq4  
     \}+_Fo/  
    场追迹仿真（相机探测器） -] L6=  
    :C7_Jp*Qv  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 grS:j+_M2m  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 j-0z5|*KE  
    A]<y:^2])C  
     <W|3\p6  
    Z"Zmo>cV4  
    场追迹仿真（电磁场探测器） .O74V~T  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 -mAUo;O  
    //*fSF   
    gRrL[z  
     -5 RD)(d  
    场追迹仿真（电磁场探测器） $g@=Z"  
     _7<FOOM%8y  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 "&%I)e^  
    ^.1)};i  
     uya.sF0]9B  
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