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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 W v!%'IB  
    96S#Q*6+R  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 9g`o+U{  
    4Yya+[RY  
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     rl](0"Y0 t  
    建模任务 p`06%"#  
    Bh<6J&<n  
    y` 6!Vj l  
    概述 F>s5<pKAX  
    jq12,R2+)  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 v<t r1cUT  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 J'Y;j^  
    O p,_d^  
     pt=H?{06  
    ^s?=$&8f![  
    光线追迹仿真 .V`N^ H:l  
    XMw*4j2E  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 w j<fi  
    •单击go！ fy|$A@f  
    •获得了3D光线追迹结果。 Iju9#b6  
    swLrp 74  
     yw+LT,AQ.  
    q=`i  
    光线追迹仿真 8t >nL  
    k?;B1D8-n  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 B 42t  
    •单击go！ %,Lv},%Y  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ^n&_JQIXb  
    5v,_ Hgh  
      6>&h9@  
    ~X!Z+Vg  
    场追迹仿真 r: M>/Z/  
    S>V+IKW;(  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 cZlDdr%  
    •单击go！ XsbYWJdds  
    0<#>LWaM_  
    T1=T  
     dh S7}n  
    场追迹仿真（相机探测器） ^c|_%/  
    N|\Q:<!2_w  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 5)iOG#8qJ  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 omzG/)M:O  
    2R];Pv  
     h1 pEC  
    _kXq0~  
    场追迹仿真（电磁场探测器） '|^x[8^  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 zy(NJ  
    &OsO _F  
    +FJ+,|i  
     VDTt}J8  
    场追迹仿真（电磁场探测器） @A'@%Zv-  
     Lv UQ&NmY  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 #gsJ tT9  
    ^xm%~   
     RG_.0'5=hc  
    qV7 9bK  
     
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