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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 W[BwHNxyg  
    iC(&U YL  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 %0&c0vT  
    9S<g2v  
    6Z ,GD  
     nNj<!}HvV  
    建模任务 mssCnr;  
    pXPLTGY<R+  
    crvq]J5  
    概述 8r{:d i*  
    @T 5dPmn  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 1[4 2f#  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Ng,< 4;  
    `PH]_]:%  
     D2N<a=#  
    5oOF|IYi  
    光线追迹仿真 T>P[0`*)  
    `514HgR  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 :n0czO6 E  
    •单击go！ /k_?S?  
    •获得了3D光线追迹结果。 zqJ0pDS  
    ;:Kd?Tz$  
     SN<Dxa8Iy  
    hAi`2GP.  
    光线追迹仿真 k\/idd[  
    =sFLzAu8  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 |i~Ab!*8n  
    •单击go！ LFwRTY,G  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 _DD.#YB</  
    A(2!.Y 2?*  
     a@?2T,$  
    8n2MZ9p]  
    场追迹仿真 pVN) k  
    6R=dg2tKT  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Bj1{=Pvl  
    •单击go！ hO?RsYJ.F  
    ]Oh8LcE#BF  
    v{2euOFE  
     ]ucz8('  
    场追迹仿真（相机探测器） d&G#3}kOb%  
    kZU v/]Y.  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 P/?'ea  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 5&Vp(A[m[  
    }K3!ujvR  
     4z*An}ol]  
    I&Dp~aEM]  
    场追迹仿真（电磁场探测器） -ufO,tJRLL  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ]>_Ie?L)<  
    @gM>Lxj  
    iVdY\+N!<  
     ^hyY,X  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 0Z,a3)jcc  
     ~9Jlb-*I5  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 3U\| E  
    tgpg  
     z%0'v`7  
    6jaol'{SuH  
     
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