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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 a)Ca:p  
    '&$xLZ8  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 }xM >F%  
    jPNm $Y1  
    [S!_ubP5  
     R k).D 6  
    建模任务 UDz#?ZWnd  
    J'>i3e Lq  
    d$`NApr  
    概述 t<2B3&o1  
    !G3d5d2)C  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 n$T'gX#5  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 =m?x|Zc_v  
    ta 66AEc9  
     ;4 ON  
    2aUy1*aM  
    光线追迹仿真 ( AnM _s  
    XZFM|=%X  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 noa =wy  
    •单击go！ *^&2L,w  
    •获得了3D光线追迹结果。 &qP&=( $  
    #{kwl|c   
     ?R}a,k  
    jQs"8[=s  
    光线追迹仿真 #A2)]XvY  
    %kJ_o*"  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 g"iLhm` L  
    •单击go！ ]dKLzW:l  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 &u'$q  
    CcHf1 _CI  
     gOA  
    5 5_#?vw  
    场追迹仿真 !5P\5WF~Y  
    M6P`~emX2  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 KPOr8=Rc  
    •单击go！ A%pBvULH  
    gz?]]-H  
    dt(#|8i%  
     jCMr[ G=  
    场追迹仿真（相机探测器） 5:ZM-kZT  
    ljij/C=  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Wa {>R2h\  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 sacaL4[_<  
    OXs-gC{b  
     8)D5loS  
    9o]h}Xc  
    场追迹仿真（电磁场探测器） x05yU  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 L"akV,w4p  
    pUs s_3  
    ^hhJ6E_W  
     &ESE?{of)  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ^nYS @  
     EhkvC>y  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 #l6L7u0~wC  
    ]e'Ol$3U9=  
     Xq9n-;%zL  
    L)5YX-?  
     
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