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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 qJf=f3  
    qJPEq%'Q  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 %$H~  
    a2\r^fY/  
    tX *}l|;(  
     z9 )I@P"  
    建模任务 La#otuw+?  
    AEr8^6  
    dE0 p>4F  
    概述 >@wyiBU  
    i%eq!q  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 tWN hFQ'  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 `oUuAL  
    s`Z'5J;S  
     ppu WcGo  
    An0Zg'o!G  
    光线追迹仿真 #Kd^t =k  
    xU_Dg56z'&  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 "ZU CYYre  
    •单击go！ c[QXc9  
    •获得了3D光线追迹结果。 <qpDAz4k  
    }"CX`  
     GN%|'eU  
    EA+}Rf6}  
    光线追迹仿真 4OOH 3O  
    7xr@$-U  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 X[Q:c4'  
    •单击go！ FJl_2  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 \uT y\KA  
    ohPCYt  
     q!+&|F  
    ?6=u[))M&  
    场追迹仿真 8Q2qroT  
    1ehl=WN  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 gN("{j1Q  
    •单击go！ Fw!TTH6l0  
    jjLwHJ  
    ,m)k;co^  
     d|RqS`h ]  
    场追迹仿真（相机探测器） S[zX@3eZV  
    ySEhi_)9^  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 5i42o+'  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 2a 3RRP  
    ^OWA   
     $V0G[!4  
    BD (Y =g  
    场追迹仿真（电磁场探测器） |)vC^=N{+  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 I}S~,4  
    f1_b``M  
    V{ yP/X  
     --}5%6  
    场追迹仿真（电磁场探测器） j~Cch%%G  
     wcI? .  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 i 6@c@n  
    `,O#r0m  
     UHh7x%$n  
    &eqeQD6  
     
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