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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 11-19
    摘要 XL^05  
    kaXq.  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 DJ@n$G`^^  
    U: Wet,  
    @aZTx/  
     (y 7X1Qc)  
    建模任务 !& >`  
    &H]/'i-  
    "I)zi]vk  
    概述 8\!E )M|4  
    Y}v3J(l  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ?q9] H5\  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 (nt`8 0  
    eu9*3'@A  
     iGu%_-S  
    n\l?+)S *  
    光线追迹仿真 gWGDm~+  
    Y55u -9|N  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 P|bow+4  
    •单击go！ QJRnpN/  
    •获得了3D光线追迹结果。 Tk4>Jb  
    "mf$E|  
     )\=xPfs  
    L;%w{,Ji  
    光线追迹仿真 *k}m?;esb  
     '2*OrY  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 "H).2{3(x  
    •单击go！ wCB*v<*  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 z'_Fg0kR{  
    ur\6~'l4  
     Rbf6/C  
    #%\0][Xf  
    场追迹仿真 5 tQz!M  
    mGj)Zrx>  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 O*~z@"\  
    •单击go！ %7)TiT4V  
    2CO/K_Q  
    ]`|$nU}v  
     3TF_$bd{  
    场追迹仿真（相机探测器） 7TMq#Pb  
    )*;Tt @'y  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 B/1j4/MS  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 DFK@/.V  
    ^w\22 Q  
     bGH#s {'5  
    w W@e#:  
    场追迹仿真（电磁场探测器） UxTLr-db^  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 N3|:MMl  
    A _zCSRF,  
    d#rr7O  
     Lj<TzPzg*  
    场追迹仿真（电磁场探测器） KFd +7C9  
     `Npa/Q  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 j8` B  
    {r&mNbz  
     #ODP+>-IjB  
    O8@65URKx  
     
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