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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 =wdh# {  
    .EL3}6"A  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 E5n7 <  
    k773h`;  
    Vb`Vp(>AU  
     w Wb>V&3  
    建模任务 Hyy b0c^=  
    `xLsD}32  
    9f( X7kt  
    概述 [g/D<g5O  
    MONX&$  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 \mc0fY  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ,SR7DiYg  
    0vm>*M*p  
     )OV0YfO   
    KUUA>'=  
    光线追迹仿真 CW &z?Bra  
    a.Z@Z!*  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ls^Z"9P  
    •单击go！ "CJ~BJI%  
    •获得了3D光线追迹结果。 %;k Hnl  
    5 3%>)gk:  
     Q%JI-&K  
    }8ubGMr,Y  
    光线追迹仿真 ?IVJ#6[  
    d2`g,~d  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 )y,^M3$?C  
    •单击go！ 'ztOl`I5V  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 \FVfV`x  
    A9MM^j V8  
     k."p&  
    )@N d3Z  
    场追迹仿真 .xsfq*3e5  
    G tI )O}  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 e?]5q ez  
    •单击go！ *U[yeE].  
    @(,1}3s  
    t5-O-AI[b{  
     UY< PiP  
    场追迹仿真（相机探测器） e3p|g]  
    F^u12R)  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 |sZqqgZ-  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 H$h#n~W~  
    P1-eDHYw  
     (I >Ch)'  
    0B`X056|"|  
    场追迹仿真（电磁场探测器） dz_S6o ]  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 L.HeBeO  
    wh8';LZ>R  
    yq%5h[M  
     vgwpuRL5b  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ;V}:0{p  
     w 9dkJo  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 .Kb3VNgwvm  
    }UhYwJf89  
     M13HD/~O  
     /|0-O''  
     
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