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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 pNHL&H\  
    ;M+~ e~  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 %Zeb#//Jz  
    8M4GforP  
    qP/McH?  
     _Fkb$NJ"]Q  
    建模任务 25vq#sS]  
    1"l48NLL|  
    ,]@Sytky  
    概述 (^ J2(  
    >'3nsR  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 >)`*:_{  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 }y|_v^  
    N]I::  
     ?+]   
    Mf9x=K9  
    光线追迹仿真 %zjyZ{=  
    9WL$3z'*  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 4?`*# DPl  
    •单击go！ bM,%+9oz;  
    •获得了3D光线追迹结果。 q ) e* eN  
    oPxh+|0?  
     BS?rKtdm(  
    X-yS9E  
    光线追迹仿真 ,_'Z Jlx  
    %8KbVjn  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 tHJahK:"k  
    •单击go！ ur+\!y7^R  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 YQ-V^e6  
    x,<|<W5<%  
     No'Th7=|S  
    ,u5iiR  
    场追迹仿真 |v"&Y  
    pQCW6X  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 iT~ gt/K  
    •单击go！ %G, d&%f  
    P.Qz>c^-C  
    9'O@8KB_  
     \`?4PQ  
    场追迹仿真（相机探测器） /,9n1|FrG  
    8J0#lu  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 )%I62<N,z  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 _lw:lZM?  
     LII4sf]  
     s&W^?eKr  
    Yx"~_xA/u  
    场追迹仿真（电磁场探测器） j-/F *P  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 %Xl(wvd   
    hhJ>>G4R2  
    XNkZ^3mq  
     AYoLpes  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 810uxw{\  
     %xwtG:IKEV  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 6M6r&,yRu  
    z#srgyLt  
     bx3kd+J7  
    9{R88f?;  
     
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