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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 |PLWF[+t8  
    ~&+8m=   
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 N\x<'P4q  
    cUU"*bA#  
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     /qXP\ a  
    建模任务 RIF*9=,S  
     37|EG  
    A*? Qm  
    概述 QQUZneIDp  
    <rNz&;m}  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 #M:Vwn JX  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 }M9I]\  
    sHHu<[psM  
     r6}-EYq=  
    u:\DqdlU`  
    光线追迹仿真 *GM.2``e  
     C0j`H(  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 v$R7"  
    •单击go！ .IORvP-M&  
    •获得了3D光线追迹结果。 S!7|vb*ko  
    r7  *'s  
     N1'$;9 c  
    e:=+~F(f  
    光线追迹仿真 v?S3G-r  
    NKRH>2,  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。  6Xt c3  
    •单击go！ E)( Rhvij  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 oo!JAv}~  
    !Bb^M3iA  
     @5TJ]=  
    t8"yAYj  
    场追迹仿真 bcFZ ~B  
    ?rgtbiSW-  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 nnMRp7LQ-  
    •单击go！ `HsI)RmX  
    A)u,Hvn  
    e>$E67h<~  
     (rjv3=9\3  
    场追迹仿真（相机探测器） MH_3nN  
    =' #yG(h  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 }<G#bh6;Q  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Uj> bWa`  
    ykG^(.E  
     [!b=A:@  
    {us"=JJVN  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 1Ozy;;\-9  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 RL1cx|  
    %x|0<@b7-  
    [xg& `x9,.  
     :<`po4/  
    场追迹仿真（电磁场探测器） $oH?7sj  
     B}Sl1)E  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 F]^ZdJ2  
    ?-9It|R  
     SFa~j)9'n  
    .06[*S  
     
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