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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 :[kfWai#(  
    C[6} 8J|  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Z8%?ej`8  
    X@RS /  
    `-/-(v+ i  
     ]{s0/(EA  
    建模任务 =;ClOy9  
    j 4!$[h  
    Y 3h`uLQ  
    概述 Py y!B  
    nm Y_)s  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 C3)*Mn3%P  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 J}BN}|Y@2  
    E2K{9@i  
     m Q4(<,F  
    %<8`(Uu5  
    光线追迹仿真 iO+,U}&  
    \2)D  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 y)vK=,"  
    •单击go！ 0Un?[O  
    •获得了3D光线追迹结果。 2*Zk^h=  
    Pm&hv*D  
     _rM?g1}5j  
    N,W ?}  
    光线追迹仿真 UE8j8U'L  
    _Z7`tUS-j  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 YLJ^R$pi  
    •单击go！ 7zM9K+3L  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ttOk6-  
    ]-8WM5\qJM  
     e[ yN  
    `6$|d,m5  
    场追迹仿真 V56WgOBxz  
    !]5}N^X  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 {Y-~7@  
    •单击go！ TZ&X0x8  
    c+ D <  
     bTU[E  
     w=pr?jt1:  
    场追迹仿真（相机探测器） \~RDvsSD  
    ZDg(D"  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 :*f  2Bn  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 m??Py"1y  
    B (Ps/  
     b9-IrR4h  
    28k=@k^q  
    场追迹仿真（电磁场探测器） &&nbdu  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 SQ_Je+X  
     ^M{,{bG  
    sUF9_W5z  
     `78Bv>[A  
    场追迹仿真（电磁场探测器） DQT'OZ :w  
     {j=`  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 d]poUN~x  
    h2 KI  
     Cb1w8l0  
    NMe{1RM  
     
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