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1. 摘要 VFq\{@-
% =kq<J-:#R 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 4\V/A+<W d8
v9[4 H%=;pD>o Oel%lY}m3 2. 建模任务 "\~>[on fCs{%-6cP
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$`S [zP}G?( 3. 干涉条纹的变化 XF3lS#pt 7r(c@4yPI
b/T k$& h;(mb2[R 4. 走进VirtualLab Fusion [<^ '}-SJ l%i*.b(
SFP?ND+7 QDK }e:4q 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 if1)AE- (Cti,g~
:zfMRg h{~GzrL* 6. VirtualLab Fusion 技术 w9x5 IRW k h^WMv
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