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1. 摘要 MQKfJru7 Ge d [#Q 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 #Wu*3&a]yU fL]Pztsk+ :$+-3_oLMQ [%&ZPJT%i 2. 建模任务 t20PP4FWM _j_x1.l
-[L!3jU `yF`x8 3. 干涉条纹的变化 _e9:me5d"$ c)0amM
5{$LsL =vT<EW}[ 4. 走进VirtualLab Fusion )#F]G$51r ^}f -!nf[
\n9zw' HHjt/gc}` 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 sdCvG R e dJ?XPo"Cm=
}KhjlPhx 9Ct` 6. VirtualLab Fusion 技术 qaim6a NzKUtwnIz
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