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1. 摘要 yA"?Hv \o; `Mt|+iT$p 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 \-]tvgA~& 1$Q[%9 H[nBNz)C u&c%L0)E& 2. 建模任务 U^GVz%\ p&V64L:V
lb}RPvQE @v@F%JCZ 3. 干涉条纹的变化 "P@ SR`v# ]NBx5m+y@i
lEwQj[ k [^ r8P:Ad 4. 走进VirtualLab Fusion [t3 Kgjt "ldd&><
(pv}>1 #oa>Z.?_V 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 SPdEO3 wG7>2*(
Z}0xK6 Ri`6X_xU 6. VirtualLab Fusion 技术 4t
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