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1. 摘要 /]ku$.mr\ Dk)@>l:gI, 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 6#E]zmXO2 y#b;uDY !(kX~S lZ}izl 2. 建模任务 uz*d^gr} i Td-n9
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3. 干涉条纹的变化 r#LnDseW wENzlXeOP
|'ZN!2u ^F>4~68d 4. 走进VirtualLab Fusion |n+#1_t% ^g9}f
]}BB/KQy^ q&u$0XmV 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 W;^N8ap% tY{;
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Q2*/`L}m\ KuA>"X 6. VirtualLab Fusion 技术 ?K0U3V$s jyNb(Z
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