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1. 摘要 *(5;5r ZKrK>X 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 %T>@Ldt wxcJ2T d H mD7NQ2:wA #!z-)[S.+ 2. 建模任务 :'%|LBc0 C)FO:lLr\
e eN`T&cI p}sM"}Ul 3. 干涉条纹的变化 w^8Q~3|7 e@VJ-s
5@1h^wv !VIxEu^ke 4. 走进VirtualLab Fusion @1'OuX^ SaGI4O_\s
|)To 0Z p/_W*0/i 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 H+I,c1sF pSC{0Y$g
TJRp/BP DZL(G [ 6. VirtualLab Fusion 技术 lwt,w<E$ T_2'=7
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