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1. 摘要 ]Alv5?E60 ,;&j*qFi 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 M>eMDCB\ [&Yrnkgr 0|a ,bwZ E79'<;K,zs 2. 建模任务 /0.m|Th'm {WYJQKs8
]0Y5 Z)3:z GkOZ=ej 3. 干涉条纹的变化 ]~YY#I": l2Gtw*i_I
y.iA]Ikz S2;u!f 4. 走进VirtualLab Fusion aEL^N0\d VxgP^*
DlMT<ld |\#~ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 kYW>o}J| >}"9heF
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