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1. 摘要 X_h}J=33Q m(!FHPvN 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 %$L{R [q-h|m ~!L}yw 0~S^Y1hH 2. 建模任务 KpGhQdR# CCx&7f
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pZAc 3. 干涉条纹的变化 M2Qr(K| yf+)6D -9n
a=2%4Wmz 0h_|t-9j 4. 走进VirtualLab Fusion 7NGxa6wi z:*|a+cy
uXvtfc =,M5KDk` 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 5j(k:a+!H &QgR*,5eo
iBaA9 T~e.PP 6. VirtualLab Fusion 技术 K0>zxqY #6=
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