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1. 摘要 k[zf`x^ v(t&8)Uu 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 X'u`\<&W =k8A7P P,%|(qB R1wdQ8q 2. 建模任务
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J`V6zGgW V2y[IeSQ 3. 干涉条纹的变化 DMf9wB Bo0y"W[+
K{iayg!k zeua`jQ 4. 走进VirtualLab Fusion -Kc-eU-&q *o>E{
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43DdIG$ !*cf}<Kmw 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 \UC4ai2MK '*-SvA\Cx
+amvQ];?Q8 /;lk.-yU 6. VirtualLab Fusion 技术 vx4&
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