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1. 摘要 + (Jh$b_ abp\Ih^b 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 }nptmc [@2$W?0i BDCyeC,Q3 ZcN#jnb0/ 2. 建模任务 {$V2L4 i]Bu7Fuu
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YetL 3. 干涉条纹的变化 S~>R}= et/v/Hvw1
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OuKRaZ xW7[ VTXc^ 6. VirtualLab Fusion 技术 Z@bSkO<Y ?<T=g
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