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1. 摘要 L)j<;{J/Q0 $|bdeQPr\ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 )Fh5*UC 5\eM3w'd I Z{DR VRa>bS 2. 建模任务 V'&`JZK6 xnD"LK
whvvc2 O4A{GO^q 3. 干涉条纹的变化 ?_bzg' /L? ia
o+^5W |(\T;~7' 4. 走进VirtualLab Fusion ae|j#!~oi Z1ZjQt#~+
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G<' jQrw^6C 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 sW]fPa(cn, v)J(@>CZ[
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M 6. VirtualLab Fusion 技术 24Uvi:B?~ E|v9khN(].
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