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1. 摘要 'krMVC- r.G/f{=<@ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 })u}PQ eR
2T<7G hF PRC0ftE I4p= ?Ds 2. 建模任务 hO@v\@;r E@}j}/%'O
z=h5 u9^;~i, 3. 干涉条纹的变化 L$kAe1 V^m =y(YMWGS
Ch!Q? 4 KI QBY!N+ 4. 走进VirtualLab Fusion i&G`ah> J?ZVzKTb>}
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H 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 9: |K]y ^znv[
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