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1. 摘要 ~{vdP=/WP ING_:XpnJ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 6eT'[Umx 1 j12Qn@] &U~r}= uT} TSwgp 2. 建模任务 p,iCM?[| 7vaN&%;E%
}=hoATs +z=%89GJ 3. 干涉条纹的变化 s!'A\nVV1$ 8M|)ojH
~'2r&?=\ ~BvY8\@B 4. 走进VirtualLab Fusion T_x+sv=|X! zg7l>9Sc
A3$aMCwKd W/r mm* 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 vA;F]epr! +F o$o
"P'&+dH8 %x6Ov\s2 6. VirtualLab Fusion 技术 w2d]96*kQe ZjZh z`
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