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1. 摘要 Sb }=j;F R ^INl@(O 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 RQ 8;_)% ~CHVU3 M5N#xgR &@w0c>Y 2. 建模任务 s'BlFB n k/)h @K8@
8KsPAK_ N%)q.'M 3. 干涉条纹的变化 Sf2xI' ,G[Y< ~Hy
}-T,cA_H| s|k&@jH) 4. 走进VirtualLab Fusion }:!X@C~ z:&/O&?
xrv0% wVc^l 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 yl0;Jx? g|tclBx
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6. VirtualLab Fusion 技术 ZzxWKIE'c xl@~K^c]
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