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1. 摘要 ZU@V]+ww $"UAJ - 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 D=OU61AA 0SDCo\ 9z-"JnM 3n/L;T,X 2. 建模任务 |/(5GX,X ::5-UxGL<2
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#) 3. 干涉条纹的变化 gTq-\k( 4Cfwz-Qo
%EpK=;51U ^Uf`w7"iY 4. 走进VirtualLab Fusion E?zp?t:a H}$#aXEAn
"E8!{ P*LcWrK 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 '0=U+Egp l-Xxv
$K iMu k]JLk"K 6. VirtualLab Fusion 技术 Oh^X^*I$@
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