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1. 摘要 &"~,V6,q .>AFf9P 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 @4W\RwD Eb4< 26A ^6N3n kyZ YKs^%GO+ 2. 建模任务 5~ *'>y >h/)r6
oJ4mxi@|# P@! Q1pr 3. 干涉条纹的变化 OW[/%U> dctA`W@:-
RpaA)R, 5sA>O2Rt> 4. 走进VirtualLab Fusion
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mTb2d?NS m\}\RnZu 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 XSHwE)m ]VHdE_7)
~NxoF p[k9C$@e} 6. VirtualLab Fusion 技术 =E6i1x%j wZ\e3H z
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