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1. 摘要 BMG3|N^ _4U5 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 Kzm+GW3o[ L(|N[# _M`--.{\O[ `tA"
}1;ka 2. 建模任务 jD<{t Vr`R>S,-
[ 0KlC1= Gi?/C&1T 3. 干涉条纹的变化 %\dz
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(3Two} q1"$<# t 4. 走进VirtualLab Fusion K}buH\yco ^6MU
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VYN`+A 6. VirtualLab Fusion 技术 -.u]GeMy jjw`Dto&
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