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1. 摘要 r
)T`?y RKe19l_V 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 ^3el-dZ ? f%@8%px .N%$I6w cJt#8P
2. 建模任务 h.67]U7m \UXQy{Ex
y"2c; *7[{ (vQShe\ 3. 干涉条纹的变化 (F
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Y$(G)Fs Va1|XQ<CL 4. 走进VirtualLab Fusion D,NjDIG8 C ZJW`c/
zNBG;\W qWWy}5SOm 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 o}[wu:>yk ~ WVrtY Ju
y_\d[ +ux,cx.U" 6. VirtualLab Fusion 技术 _3)~{dQ+ &)rmv
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