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1. 摘要 X.9MOdG70 $IZZ`Z]B 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 )^f
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J1S ^T6!z^g1h 8w?\_P7QA 2. 建模任务 i9U_r._qj; wNhR(M7
D#}Yx]Q1 z}2e;d 7 3. 干涉条纹的变化 ~c$ts&Cl [j U
N4|q2Jvj6 |ZlT>u 4. 走进VirtualLab Fusion ]pTw]SK ~(OIo7#;
]Ja8i%LjOG fYM6wYJ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 810<1NP
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Cy:`pYxhd MYSc*G 6. VirtualLab Fusion 技术 _D,f4.R Cf=q_\0|W
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