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摘要 +$Q33@F5l 8YJ8_$Z 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 GQXN1R
"71@WLlN
D&q-L[tA@ *6%!i7kr 建模任务 f6x}M9xS% pj. }VF!d +qsNz*@p" 仿真干涉条纹 YNCQPN\v`1 au'Zjj/Ai5 #Aox$[|@ 走进VirtualLab Fusion ^<fN 2
F3U,} xh[De}@ `~'yy q VirtualLab Fusion中的工作流程 Td%[ - 8 ;oU{ •设置输入场 epa)~/sA −基本光源模型[教程视频] IHCEuK •使用导入的数据自定义表面轮廓 4J3cQ;z •定义元件的位置和方向 1Wzm51RU − LPD II:位置和方向[教程视频] yD|He*$S •正确设置通道以进行非序列追迹 1Ao YG_ −非序列追迹的通道设置[用例] p`ai2`qC` •使用参数运行检查影响/变化 IM:*uv −参数运行文档的使用[用例] AZ~=]1 g+Z~"O]$M d6ZJh xJ 2aiZ VirtualLab Fusion技术 <4Z;a2l}U Y@'ug N|[C
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