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    [技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 c^7QiTt_  
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    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 [&+5E1%L  
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    建模任务 ~y>NJM>1  
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    仿真干涉条纹 fBnlB_}e  
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    走进VirtualLab Fusion ~#|Pe1Y  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 c52S2f7  
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    •设置输入场 dReJ;x4  
    −基本光源模型[教程视频] p* tAwl  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 OFn#C!  
    •定义元件的位置和方向 }o7"2h ht  
    − LPD II：位置和方向[教程视频] t{Z:N']H  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 `Zd\d:Wyv  
    −非序列追迹的通道设置[用例] nE=,=K~  
    •使用参数运行检查影响/变化 Iz9b5  
    −参数运行文档的使用[用例] G'(8/os{  
     *V?p&/>MT  
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    ,o s M|!,  
    VirtualLab Fusion技术 2-_d~~O1N  
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