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    [技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 /^SAC%PD  
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    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 2&mGT&HAVA  
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    建模任务 <*ZJaBwWU~  
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    仿真干涉条纹 C@ZK~Y_g  
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    走进VirtualLab Fusion 8H,4kY?Z  
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    wcSyw2D  
    VirtualLab Fusion中的工作流程 h` U?1xS  
    C (n+SY^  
    •设置输入场 EC2+`HJ"  
    −基本光源模型[教程视频] )UgX3+@  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 ,u }XW V  
    •定义元件的位置和方向 $n^ MD_1!  
    − LPD II：位置和方向[教程视频] o./.Q9e7  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 y.5/?{GL  
    −非序列追迹的通道设置[用例] ?_x q-  
    •使用参数运行检查影响/变化 yzw mT  
    −参数运行文档的使用[用例] KH)D 08  
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    VirtualLab Fusion技术 [${ QzO  
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