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    [技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 11-19
    摘要 4I2:"CK06  
    nsXG@CS:  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 A Y<L8  
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    建模任务 uqI'e_&=&5  
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    仿真干涉条纹 _w %:PnO  
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    走进VirtualLab Fusion kb"Fw:0  
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    S *J{  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 L;vglS=l;  
    p$x>I3C(\  
    •设置输入场 No[9m_  
    −基本光源模型[教程视频] cV@^<  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 -}sMOy`  
    •定义元件的位置和方向 B:UPSX)A  
    − LPD II：位置和方向[教程视频] ZlE=P4`X:  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 %x@bP6d[  
    −非序列追迹的通道设置[用例] 3_boEYl0  
    •使用参数运行检查影响/变化 R=, pv'  
    −参数运行文档的使用[用例] ht6}v<x.eA  
     KQ6][2-  
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    Q7F4OS5b  
    VirtualLab Fusion技术 cL.>e=x$  
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