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摘要 4wx{i6 Fe2t[y:8h 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 2#Qw |#Q0UM|'Q
jVna;o) sHQO*[[ 建模任务 KK4rVb:- tO3#kV\, .-1'#Z1T 仿真干涉条纹 Gsy'':u c=re( r+tHVh 走进VirtualLab Fusion 9 $^b^It NKiWt
Z" ~6{U^3 L#fK
,r8 VirtualLab Fusion中的工作流程 Q1(4l?X@ f67t.6Vw2+ •设置输入场 W)L*zVj~ −基本光源模型[教程视频] 8Ep! •使用导入的数据自定义表面轮廓 !:v7SRUXb •定义元件的位置和方向 ViU5l*n; − LPD II:位置和方向[教程视频] NzS`s,N4/0 •正确设置通道以进行非序列追迹 .&n!4F' −非序列追迹的通道设置[用例] yoM^6o^,D •使用参数运行检查影响/变化 UDPn4q −参数运行文档的使用[用例] v=DC3oh- 3il$V78| Y4[oa?G S$46YQ VirtualLab Fusion技术 - *qoF(/U 4ZkaH(a1
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