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摘要 hhQLld4 !ckmNE0 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 Cw "Y=` Om`VQ?
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7/zO f,{O%*PUA 建模任务 {w*5uI%%e FWpcWmS`s ~_^#/BnAl 仿真干涉条纹 H(bR@Qok `!{m#BBT} t3%[C;@wB 走进VirtualLab Fusion & yFS ,YzrqVY ]#>;C: L 8,Iil:w VirtualLab Fusion中的工作流程 w_o|k&~, `BA wef •设置输入场 &wc%mQV −基本光源模型[教程视频] Xk=bb267 •使用导入的数据自定义表面轮廓 3_k.`s_Z •定义元件的位置和方向 CjRI!}S − LPD II:位置和方向[教程视频] -7^?40A •正确设置通道以进行非序列追迹 B;f\H,/59 −非序列追迹的通道设置[用例] P9(]9np,, •使用参数运行检查影响/变化 e@[9WnxYe −参数运行文档的使用[用例] R$qp3I YU! SdT$ %\OG#36 QR4!r@*=
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