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摘要 +h[e0J|v{ ='/Z;3jt]x 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 y{rn-?`{ }6~)bLzI}
}X1.Wt=? *M!kA65' 建模任务 <GW R7rUH LZWS^77 HY;oy( 仿真干涉条纹 '_Wt}{h < tQc_ EnscDtf( 走进VirtualLab Fusion WEa>)@ ~"mj;5Id >_Uj?F: u7k|7e=xk
VirtualLab Fusion中的工作流程 RebTg1vGu r=csi •设置输入场 {;RF −基本光源模型[教程视频] L~MpY{!3 •使用导入的数据自定义表面轮廓 )*[
""& •定义元件的位置和方向 M'u=H − LPD II:位置和方向[教程视频] _@prmSc •正确设置通道以进行非序列追迹 NiTJ}1 l −非序列追迹的通道设置[用例] Ex,JB + •使用参数运行检查影响/变化 ,+-? Zv 2 −参数运行文档的使用[用例] X(GV6mJ4 LP>UU ,Z <ZrFOb %8Yyj{^!( VirtualLab Fusion技术 P0#`anUr1 G.ud1,S#
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