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摘要 >5@ 0lYhH r@V(w` 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 wCE fR!i 93p9?4;n-
U>M>FZ +w}%gps 建模任务 $YO]IK$ 8w@jUGsc By"ul:.D 仿真干涉条纹 oIR%{`3"I !Q/O[6 <HX-qNA? 走进VirtualLab Fusion K]azUK7 JC?V].) y5 Fe>#}-` { dxyBDK VirtualLab Fusion中的工作流程 D
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R T=KrT7 •设置输入场 cngPc]?N −基本光源模型[教程视频] Vh-h{ •使用导入的数据自定义表面轮廓 #S74C*'8 •定义元件的位置和方向 $G([#N< − LPD II:位置和方向[教程视频] V\lF:3C •正确设置通道以进行非序列追迹 gGz_t,= −非序列追迹的通道设置[用例] #[rFep •使用参数运行检查影响/变化 t$ ~:C −参数运行文档的使用[用例] o\YdL2:X w0>)y- 2F)OyE CMf~Yv VirtualLab Fusion技术 ov.rHVeI /u1zRw
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