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    [技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 C$+Q,guM  
    ZOV,yuD{8{  
    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 v0 :n:q  
    # 2^H{7  
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    建模任务 _%2ukuJ `  
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    仿真干涉条纹 ma*#*4  
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    走进VirtualLab Fusion C;JW \J~W  
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    1 PdG1'  
    VirtualLab Fusion中的工作流程 :~"m yn,  
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    •设置输入场 \a;xJzc9  
    −基本光源模型[教程视频] V||b%Cb1g  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 8/)\nV$0Y  
    •定义元件的位置和方向 Y2l;NSWU  
    − LPD II：位置和方向[教程视频] )JTQZ,f3]  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 WIi,`/K+  
    −非序列追迹的通道设置[用例] tP! %(+V  
    •使用参数运行检查影响/变化 R~a9}&  
    −参数运行文档的使用[用例] L1!~T+%uQ  
     MhHh`WUGh  
    bskoi;)u  
    nrev!h  
    VirtualLab Fusion技术 u=qK_$d4  
    vJ&D>Vh4e  
     
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