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摘要 Mu2`ODe] ;Z9IZ~ 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 E\$C/}T mQr0sI,o]
fu]N""~ >qh?L#Fk 建模任务 Hg+
F^2<y }l;Lxb2` .Dw,"VHP 仿真干涉条纹 .=<$S#x^Hb ]db@RbaH &=Y e6 f[ 走进VirtualLab Fusion ^E,1V5 0m)&YFZ[( -^SA8y 4!%F\c46 VirtualLab Fusion中的工作流程
>|*yh~ DWm SC}{. •设置输入场 F]_cbM{8/ −基本光源模型[教程视频] L`[z[p{? •使用导入的数据自定义表面轮廓 1%`7.;!i •定义元件的位置和方向 GwLFL.Ke − LPD II:位置和方向[教程视频] =SBBvnPLI •正确设置通道以进行非序列追迹 GEe`ZhG,
−非序列追迹的通道设置[用例] 6rX_-Mm6w •使用参数运行检查影响/变化 >oJkJ$|wU −参数运行文档的使用[用例] FxRXPt
FK ,t,wy37*D FWY2s(5p _MfD VirtualLab Fusion技术 r;m`9,RW 2Z/K(J"&J
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