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    [技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-11-19
    摘要 rTK/WZs8  
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    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 h-#Glse<  
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    建模任务 jh}[7M  
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    仿真干涉条纹 V,&s$eQC  
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    走进VirtualLab Fusion ZJI|762,  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 FFP>Y*v(  
    J[]YG+r  
    •设置输入场 z\Qg 3BS  
    −基本光源模型[教程视频] ?][Mv`ST  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 Rs5G5W@"A  
    •定义元件的位置和方向 |67<h5Q1  
    − LPD II：位置和方向[教程视频] R.+Q K6B&  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 :DQHb"(  
    −非序列追迹的通道设置[用例] l[rIjyL@  
    •使用参数运行检查影响/变化 4,T S1H  
    −参数运行文档的使用[用例] [o\O^d  
     ]\*g/QV  
    64`V+Hd  
    E^Q|v45d  
    VirtualLab Fusion技术 .hBE&Y>\  
    w^z}!/"]u  
     
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